    28704 
  XYZ file generated by CMDF
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Si  15.97836 196.86044   0.32304
Si  10.44309 193.65336   2.24152
Si  12.66408 194.48898   2.24220
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Si  54.06660  97.19161   0.33309
Si  55.18075  96.39852   2.24169
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Si  52.99579 281.69124   2.24081
Si  56.34574 281.70500   0.31818
Si  50.81411 278.50395   2.24129
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Si  57.54562  99.47922   2.24327
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Si  60.89434 287.98217   0.31379
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Si  65.27180 124.68256   0.32112
Si  67.52288 125.46735   0.32218
Si  68.63954 124.68136   2.24482
Si  65.32913 122.31770   0.32101
Si  68.68518 122.32525   2.24354
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Si  76.53987 130.96919   0.32215
Si  71.00656 127.76090   2.24152
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Si  73.17782 319.40356   2.24057
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Si 110.19067   8.50608   0.32073
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Si 114.61780  31.29769   0.31111
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Si 114.61943 417.61212   0.31905
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Si 121.45504  24.21583   0.31882
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Si 119.16675  37.56740   0.31953
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Si 137.10771  65.07720   0.32673
Si 131.56248  61.85991   2.23656
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Si 141.64520  99.61190   0.31834
Si 143.87875 100.41556   0.31836
Si 138.17260 116.12244   2.24663
Si 139.30007 115.33431   0.32295
Si 141.54393 116.12845   0.31446
Si 142.66833 115.33856   2.23644
Si 139.34817 112.97786   0.31652
Si 142.71622 112.97598   2.23991
Si 140.46495 112.17281   2.23307
Si 143.83112 112.19458   0.31699
Si 138.29581 108.97584   2.24698
Si 140.52044 109.81389   2.23726
Si 141.64143 109.02521   0.32632
Si 143.87462 109.84138   0.32134
Si 138.17211 125.54317   2.24230
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Si 141.54268 125.54805   0.32427
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Si 139.35642 122.39440   0.32202
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Si 142.69854 310.84944   2.24112
Si 140.47371 310.04887   2.24816
Si 143.82918 310.06024   0.32333
Si 138.29916 306.84963   2.23382
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Si 142.70760 329.69042   2.24352
Si 140.46719 328.89039   2.23549
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Si 138.29828 325.69818   2.24093
Si 140.50638 326.52810   2.24232
Si 141.64522 325.74803   0.31669
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Si 139.29954 341.46756   0.31822
Si 141.54358 342.25732   0.32031
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Si 139.34683 339.10801   0.31736
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Si 150.57258 555.04779   0.31436
Si 145.03158 551.84300   2.24038
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Si 151.75274 174.95222   2.22517
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Si 155.10204 175.00632   0.31878
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Si 151.63568 191.51748   2.23920
Si 152.76153 190.72977   0.32123
Si 154.99943 191.52663   0.32468
Si 156.12242 190.73372   2.24743
Si 152.82334 188.35690   0.31440
Si 156.16153 188.37503   2.23921
Si 153.93039 187.56990   2.24440
Si 157.28800 187.58211   0.32089
Si 151.76186 184.37072   2.23856
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Si 157.29258 347.75841   0.31388
Si 151.75144 344.55400   2.23999
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Si 155.11041 344.60137   0.31137
Si 157.33250 345.41702   0.31745
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Si 153.93336 366.58682   2.24679
Si 157.28678 366.60667   0.32121
Si 151.75767 363.39421   2.23792
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Si 155.09265 363.46112   0.31801
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Si 151.64088 379.95996   2.24370
Si 152.75643 379.17583   0.31575
Si 154.99895 379.96715   0.31380
Si 156.11404 379.17787   2.23868
Si 152.80851 376.80487   0.32245
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Si 153.92243 376.02157   2.24266
Si 157.29602 376.04031   0.31647
Si 151.75516 372.81673   2.23537
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Si 170.75117  18.00102   0.32297
Si 165.21874  14.78228   2.24063
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Si 165.21473 184.38179   2.24192
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Si 174.11899 225.27883   2.24811
Si 177.47579 225.29251   0.32533
Si 171.94226 222.07966   2.24448
Si 174.17319 222.91979   2.24080
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Si 177.51931 222.94302   0.31539
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Si 175.18380 238.64203   0.32936
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Si 173.00231 235.50187   0.31182
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Si 176.31143 398.03855   2.25248
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Si 175.30163 410.58181   0.32189
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Si  12.61661  64.32689   2.24312
Si  15.97463  64.38166   0.25665
Si  10.44309  61.11975   2.24152
Si  12.66408  61.96648   2.24220
Si  13.79023  61.19093   0.31879
Si  15.96167  62.04329   0.25048
Si  10.32290  77.68318   2.24389
Si  11.44400  76.89981   0.32055
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Si  14.80831  76.91999   2.24389
Si  11.49753  74.53833   0.31989
Si  14.85073  74.56205   2.24306
Si  12.61661  73.74924   2.24312
Si  15.90523  73.75522   0.41586
Si  10.44309  70.54210   2.24152
Si  12.66408  71.38883   2.24220
Si  13.79023  70.61328   0.31879
Si  15.96449  71.42018   0.30540
Si  10.32290  87.10553   2.24389
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Si  11.49753  83.96068   0.31989
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Si  10.44309  79.96445   2.24152
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Si  13.79023  80.03563   0.31879
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Si  10.32290  96.52788   2.24389
Si  11.44400  95.74451   0.32055
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Si  14.80831  95.76469   2.24389
Si  11.49753  93.38303   0.31989
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Si  13.79023  89.45798   0.31879
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Si  10.32290 105.95023   2.24389
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Si  14.80831 105.18704   2.24389
Si  11.49753 102.80538   0.31989
Si  14.85073 102.82910   2.24306
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Si  10.44309  98.80915   2.24152
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Si  13.79023  98.88033   0.31879
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Si  14.80831 114.60939   2.24389
Si  11.49753 112.22773   0.31989
Si  14.85073 112.25145   2.24306
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Si  16.03521 111.48672   0.28840
Si  10.44309 108.23150   2.24152
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Si  13.79023 108.30268   0.31879
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Si  10.32290 124.79493   2.24389
Si  11.44400 124.01156   0.32055
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Si  11.49753 131.07243   0.31989
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Si  11.49753 140.49478   0.31989
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Si  11.49753 149.91713   0.31989
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Si  10.44309 174.18795   2.24152
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Si  11.49753 187.60653   0.31989
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Si  12.61661 186.81744   2.24312
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Si  10.44309 183.61030   2.24152
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Si  13.79023 183.68148   0.31879
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Si  10.32290 200.17373   2.24389
Si  11.44400 199.39036   0.32055
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Si  10.44309 193.03265   2.24152
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Si  10.44309 221.29970   2.24152
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Si  13.79023 221.37088   0.31879
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Si  13.68721 237.88332   0.32055
Si  14.80831 237.09994   2.24389
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Si  12.61661 243.35154   2.24312
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Si  44.13158 296.89514   2.32063
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Si  54.00749 136.87789   0.38152
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Si  52.00359 152.43623   0.29828
Si  54.22915 153.24183   0.18843
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Si  55.23903 150.02896   2.29438
Si  52.95322 149.39376   2.41885
Si  56.34116 149.22194   0.46890
Si  50.66466 146.29824   2.45807
Si  52.86607 147.00304   2.46424
Si  53.94105 146.25630   0.54014
Si  56.25048 146.82599   0.41060
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Si  54.15623 162.67677   0.42969
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Si  55.24585 159.51236   2.22175
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Si  56.38635 158.86652   0.30886
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Si  52.88131 278.99083   2.17937
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Si  50.75910 306.54655   2.28374
Si  52.93406 307.27787   2.20081
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Si  54.32620 323.07755   0.41368
Si  55.41777 322.20532   2.33819
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Si  50.65567 315.83830   2.28597
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Si  56.37619 328.46133   0.37503
Si  50.83887 325.32167   2.17725
Si  53.02011 326.20798   2.42649
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Si  56.38126 326.14531   0.33853
Si  50.87394 341.82993   2.21286
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Si  52.02790 338.56638   0.31348
Si  55.37882 338.73099   2.25953
Si  53.16226 337.89504   2.26214
Si  56.44552 337.86901   0.27855
Si  50.70977 334.82198   2.18659
Si  52.92315 335.54685   2.29174
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Si  56.26488 335.57543   0.39724
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Si  68.76978 366.89831   2.19328
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Si  64.22614 362.91753   2.21086
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Si  73.17790 357.01222   2.34166
Si  76.50746 356.94120   0.16588
Si  71.05628 353.72999   2.15705
Si  73.15614 354.65679   2.29440
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Si  73.10099 375.67919   2.28162
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Si  74.16028 372.63718   0.39210
Si  76.39418 373.35956   0.44703
Si  70.98485 389.03138   2.16532
Si  72.02969 388.19821   0.26853
Si  74.29883 388.98264   0.30762
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Si 104.55393  78.17855   2.18673
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Si 113.46201  83.76724   2.39904
Si 116.85661  83.74884   0.47311
Si 111.19076  80.60166   2.23882
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Si 114.49347  80.60672   0.33347
Si 116.70305  81.42271   0.29609
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Si 111.31296 466.93113   2.42565
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Si 130.30036 112.15101   0.41492
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Si 131.52505 134.97899   2.11723
Si 132.64762 134.11716   0.20970
Si 134.86363 134.85942   0.35032
Si 135.92146 134.06183   2.29644
Si 132.62824 131.70460   0.20451
Si 135.94913 131.71077   2.26280
Si 133.73892 130.98355   2.07772
Si 137.05095 130.94939   0.35293
Si 131.42672 127.80309   2.25230
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Si 134.79786 127.74644   0.22009
Si 137.01050 128.55101   0.27614
Si 131.62091 144.47782   2.40214
Si 132.75837 143.60974   0.46108
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Si 134.69822 137.23193   0.27228
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Si 131.71559 323.43608   2.24452
Si 132.84135 322.63281   0.39195
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Si 135.95305 320.36029   2.27194
Si 133.79463 319.56872   2.26991
Si 137.02008 319.56573   0.42445
Si 131.45071 316.43765   2.34695
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Si 132.59784 338.90228   0.21477
Si 135.99111 338.99546   2.26313
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Si 131.44514 335.04649   2.29469
Si 133.70604 335.84828   2.30076
Si 134.78226 335.09015   0.34077
Si 137.02475 335.82867   0.51487
Si 131.56502 351.48362   2.40765
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Si 139.26072 169.45510   0.40741
Si 142.69957 169.54762   2.24052
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Si 143.80187 166.36797   0.37113
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Si 142.79156 367.50146   2.20191
Si 140.60325 366.72224   2.25379
Si 143.99991 366.67655   0.34203
Si 138.38938 363.60973   2.53452
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Si 138.12268 380.00713   2.10907
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Si 141.60919 382.16061   0.37705
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Si 142.58917 398.06229   2.22312
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Si 140.46515 394.82852   2.33845
Si 143.78676 394.88479   0.30315
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Si 140.41377 392.49052   2.35550
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Si 147.21486 213.67190   2.21846
Si 148.31527 212.87427   0.35193
Si 150.55163 213.69625   0.35145
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Si 150.59790 423.23490   0.34587
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Si 157.27973  46.41605   0.36813
Si 151.68966  43.14735   2.15464
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Si 157.15243  44.05149   0.39025
Si 151.75603  59.56998   2.17841
Si 152.92826  58.81921   0.14408
Si 155.14009  59.64143   0.12265
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Si 156.20421 219.10855   2.20887
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Si 154.00627 216.00483   2.13096
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Si 151.70427 212.92358   2.28474
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Si 155.06661 212.87189   0.27404
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Si 155.15923 248.11851   0.22184
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Si 156.18764 244.87019   2.19318
Si 153.93921 244.16164   2.13906
Si 157.31760 244.19510   0.29761
Si 151.65585 241.13045   2.07983
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Si 154.99863 241.09893   0.23121
Si 157.23055 241.84252   0.30482
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Si 154.01976 366.80747   2.24615
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Si 151.71930 401.24296   2.30970
Si 153.95212 402.02202   2.37749
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Si 151.68463 417.61454   2.18379
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Si 152.83178 414.50756   0.22806
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Si 152.85627 445.33263   0.18280
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Si 157.16787 442.15625   0.32800
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Si 165.14851  87.91595   1.99723
Si 166.29632  87.14295   0.09853
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Si 174.02724  93.51835   2.17344
Si 177.40620  93.64980   0.26759
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Si  15.93785 117.92008   0.34062
Si  10.32290 133.59597   2.24389
Si  11.44400 132.81820   0.32055
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Si  14.80831 132.85521   2.24389
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Si  10.44309 126.45549   2.24152
Si  12.66408 127.31333   2.24220
Si  13.79023 126.54341   0.31879
Si  15.96647 127.16628   0.48883
Si  10.32290 143.01832   2.24389
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Si  11.49753 139.87934   0.31989
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Si  16.00338 139.10535   0.28604
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Si  13.79023 164.23281   0.31879
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Si  11.49753 177.56874   0.31989
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Si  13.79023 239.61161   0.31879
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Si  13.79023 249.03396   0.31879
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Si  10.44309 277.21309   2.24152
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Si  13.79023 277.30101   0.31879
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Si  10.32290 293.77592   2.24389
Si  11.44400 292.99815   0.32055
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Si  14.80831 293.03516   2.24389
Si  11.49753 290.63694   0.31989
Si  14.85073 290.67743   2.24306
Si  12.61661 289.85345   2.24312
Si  15.98521 289.96288   0.34802
Si  10.44309 286.63544   2.24152
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Si  13.79023 296.14571   0.31879
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Si  14.85073 309.52213   2.24306
Si  12.61661 308.69815   2.24312
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Si  10.44309 305.48014   2.24152
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Si  13.79023 305.56806   0.31879
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Si  55.26987  17.82954   2.28380
Si  52.96678  17.11535   2.21938
Si  56.34318  17.04087   0.44600
Si  50.61874  13.91922   2.23475
Si  52.93889  14.76198   2.24456
Si  54.03853  13.98912   0.23816
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Si  51.93690  27.30004   0.41566
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Si  50.85892  23.43771   2.30668
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Si  54.15672  23.29798   0.54617
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Si  50.73121  60.97136   2.26103
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Si  50.65844 164.64281   2.31062
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Si  54.32818 181.18330   0.41395
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Si  55.23707 178.01223   2.20621
Si  53.05216 177.19375   2.20664
Si  56.44030 177.25045   0.18232
Si  50.66527 174.12355   2.36505
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Si  54.02836 174.12090   0.51702
Si  56.30742 174.93201   0.35849
Si  50.92460 190.49365   2.39838
Si  52.02818 189.76202   0.45250
Si  54.22387 190.65066   0.43113
Si  55.31989 189.81259   2.39256
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Si  53.12177 186.62475   2.31223
Si  56.54133 186.76616   0.32560
Si  50.81850 183.47726   2.25196
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Si  50.59728 199.97449   2.19234
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Si  52.93844 196.07124   2.23890
Si  56.37034 196.24264   0.13095
Si  50.75442 192.86597   2.28787
Si  52.99285 193.71458   2.22147
Si  54.15896 193.04795   0.32024
Si  56.34986 193.83819   0.21553
Si  50.75146 209.38031   2.20716
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Si  54.17892 209.45607   0.31597
Si  55.35873 208.66243   2.21484
Si  51.88071 206.24484   0.20903
Si  55.18148 206.31818   2.08045
Si  52.94988 205.43612   2.11060
Si  56.32079 205.58466   0.17870
Si  50.63190 202.29724   2.02292
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Si  54.01183 202.32478   0.18449
Si  56.29634 203.22101   0.19870
Si  50.82953 218.86681   2.39977
Si  51.90627 218.04585   0.42716
Si  54.07632 218.89991   0.30425
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Si  53.17783 375.01936   2.29471
Si  56.54564 375.00670   0.40589
Si  50.75565 371.88646   2.28494
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Si  53.17728 384.46841   2.32175
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Si  50.89807 381.39493   2.16556
Si  53.10607 382.11021   2.31984
Si  54.24156 381.31658   0.46766
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Si  54.24507 397.79344   0.32674
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Si  55.26430 394.59360   2.31797
Si  52.95813 393.82692   2.27964
Si  56.37773 393.88361   0.45497
Si  50.58541 390.59991   2.32345
Si  52.86738 391.50373   2.22372
Si  54.04378 390.94996   0.20553
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Si  50.78626 407.15825   2.12429
Si  51.92336 406.46597   0.21616
Si  54.13715 407.21115   0.25372
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Si  51.84719 404.11467   0.32967
Si  55.03330 404.02535   2.28913
Si  52.90728 403.28285   2.24411
Si  56.21670 403.46353   0.35256
Si  50.75355 400.12843   2.24982
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Si  51.92410 413.42832   0.44101
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Si  50.58029 409.60930   2.16117
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Si  50.74685 447.42516   2.29513
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Si  52.89356 563.32001   2.17461
Si  56.27167 563.33395   0.13517
Si  50.59320 560.24378   2.49166
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Si  56.34726 560.99430   0.27495
Si  57.59189  11.58733   2.29933
Si  58.73230  10.92836   0.38169
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Si  59.73934   7.68983   2.25250
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Si  57.47572  13.91978   2.27186
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Si  63.16262  14.63791   0.36659
Si  57.61456  30.28374   2.34299
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Si  62.06733  29.53976   2.30968
Si  58.71072  27.18172   0.61776
Si  62.04330  27.13165   2.32105
Si  59.81243  26.41492   2.52294
Si  63.13945  26.38574   0.40880
Si  57.49851  23.29620   2.53406
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Si  60.84600  23.38728   0.47760
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Si  75.64420 253.61587   2.18421
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Si 109.02273 131.39901   2.26276
Si 106.84998 130.58740   2.22233
Si 110.18389 130.66440   0.34446
Si 104.52693 127.48309   2.22691
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Si 109.11610 310.54095   2.35649
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Si 110.31361 307.49439   0.16170
Si 104.56776 323.05189   2.37826
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Si 107.97605 323.05424   0.35173
Si 109.09392 322.28044   2.36132
Si 105.73217 319.89045   0.40573
Si 109.06545 319.91036   2.28062
Si 106.86658 319.04095   2.33359
Si 110.15518 319.27425   0.31083
Si 104.61322 316.05405   2.37869
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Si 109.08847 517.83752   2.16763
Si 106.92113 517.00072   2.29821
Si 110.19737 517.15105   0.24977
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Si 116.99649 112.07842   0.23230
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Si 116.82183 128.51194   0.33164
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Si 112.33879 140.89751   0.49472
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Si 113.52539 140.16056   2.32234
Si 116.84443 140.38597   0.45815
Si 111.08378 136.99391   2.56269
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Si 114.45860 137.20403   0.44933
Si 116.74413 137.98029   0.55194
Si 111.33760 153.58497   2.35341
Si 112.50484 152.79518   0.42330
Si 114.71080 153.57556   0.47279
Si 115.81965 152.81150   2.41163
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Si 113.61245 149.72170   2.24563
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Si 115.73124 329.52799   2.30158
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Si 114.49642 325.64448   0.39122
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Si 115.83511 338.81254   2.17819
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Si 116.82316 526.56308   0.40591
Si 111.27858 523.49205   2.34598
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Si 114.61267 523.30148   0.42579
Si 116.83905 524.14028   0.31867
Si 111.27375 539.94144   2.43796
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Si 122.54859 546.10850   2.33303
Si 120.32140 545.42260   2.37049
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Si 125.74239 169.49320   0.33185
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Si 130.26802 166.34719   0.51599
Si 124.76470 181.89082   2.14605
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Si 130.29959 338.11489   0.45513
Si 124.56944 334.97731   2.29174
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Si 124.88936 353.84168   2.40735
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Si 128.26488 353.78105   0.50479
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Si 124.75903 370.33758   2.33677
Si 125.83202 369.54420   0.51047
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Si 132.74344 188.17926   0.48029
Si 136.12147 188.32188   2.59299
Si 133.85101 187.44636   2.40917
Si 137.15041 187.58274   0.69810
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Si 139.31651  37.66910   0.25829
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Si 147.25075  81.63090   2.05643
Si 148.34198  80.93070   0.18798
Si 150.68728  81.77601   0.34153
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Si 150.63717 477.56751   0.26863
Si 145.02346 493.17188   2.23545
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Si 152.81786 113.09288   0.11194
Si 156.13754 113.16855   1.99158
Si 153.88011 112.35021   2.00643
Si 157.21762 112.41662   0.08035
Si 151.44940 109.19386   2.07134
Si 153.79050 109.97529   2.08037
Si 154.87426 109.15676   0.20633
Si 157.08119 110.04416   0.27240
Si 151.92128 125.69084   2.48754
Si 152.96440 125.04185   0.56485
Si 155.22002 125.75364   0.59933
Si 156.25532 125.05474   2.49925
Si 152.92014 122.57866   0.50355
Si 156.30022 122.73378   2.48225
Si 154.13168 121.93172   2.36330
Si 157.38103 121.89002   0.44061
Si 151.77512 118.54040   2.24090
Si 154.01657 119.46735   2.15933
Si 155.15910 118.77401   0.24704
Si 157.32139 119.64934   0.39543
Si 151.58822 134.97124   2.29559
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Si 154.92850 135.13849   0.43002
Si 156.17356 134.35947   2.35693
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Si 157.40049 129.03028   0.51216
Si 151.79798 144.49026   2.14709
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Si 154.88021 137.49270   0.34558
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Si 151.66117 231.83834   2.35607
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Si 151.53886 248.03735   2.02427
Si 152.58522 247.26298   0.11118
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Si 152.66381 244.99817   0.02900
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Si 151.64521 241.16289   2.13732
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Si 157.27692 270.28933   0.32192
Si 152.39313 285.93504   2.10015
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Si 157.43955 300.88860   0.18070
Si 152.17958 297.86397   2.22261
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Si 155.25815 297.93028   0.19152
Si 157.47940 298.49419   0.16531
Si 151.76533 314.11052   2.31151
Si 152.93127 313.39872   0.39300
Si 155.16599 314.24362   0.19673
Si 156.28559 313.46897   2.12931
Si 152.88282 311.03130   0.35176
Si 156.23611 311.07437   2.24588
Si 154.05441 310.34980   2.35829
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Si 155.15821 307.15642   0.22924
Si 157.39714 307.92147   0.18668
Si 151.80530 323.34072   2.07215
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Si 152.81705 320.33543   0.19605
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Si 156.10431 499.47968   2.24356
Si 153.81323 498.63727   2.27853
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Si 161.58732 118.83255   0.35455
Si 163.88191 119.62068   0.37616
Si 158.37762 135.07508   2.22729
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Si 166.20515 141.59419   0.27137
Si 169.61784 141.65607   2.24364
Si 167.41558 140.92280   2.20268
Si 170.72785 140.88664   0.36661
Si 165.09904 137.61623   2.26475
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Si 168.33944 137.71473   0.40807
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Si 165.08169 154.10685   2.33630
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Si 167.45292 300.96897   2.20581
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Si 165.18300 297.85021   2.22164
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Si 165.22292 313.97110   1.99167
Si 166.40719 313.35262   0.06574
Si 168.62086 314.17881   0.24932
Si 169.74260 313.48224   2.19006
Si 166.38771 311.01677   0.15991
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Si 167.46460 310.31237   2.15596
Si 170.85128 310.43010   0.35636
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Si 167.26826 319.60164   1.89777
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Si 166.23855 329.99668   0.38976
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Si 167.33719 329.18512   2.24576
Si 170.65784 329.35554   0.50248
Si 165.00648 325.92809   2.14386
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Si 168.41826 326.06356   0.36761
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Si 169.55194 527.98381   2.25147
Si 167.26766 527.18204   2.39927
Si 170.69318 527.18344   0.29815
Si 165.10108 523.95114   2.18066
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Si 165.21550 540.53067   2.25082
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Si 168.41903 540.48781   0.50374
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Si 175.19761 147.19298   0.32038
Si 177.37857 147.91623   0.21044
Si 171.98444 163.59976   2.07978
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Si 176.21315 320.67327   2.22836
Si 173.95432 319.88890   2.13092
Si 177.34458 319.96048   0.28641
Si 171.79282 316.70585   2.16916
Si 173.99741 317.55660   2.18782
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Si 174.99091 335.59277   0.39802
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Si 171.91417 352.11101   2.16363
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Si 183.19161 170.06243   2.31747
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Si 184.34329 169.37307   0.46793
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Si 178.49895 182.68521   2.30634
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Si  11.49753 186.37566   0.31989
Si  14.85073 186.43291   2.24306
Si  12.61661 185.59776   2.24312
Si  15.90215 185.68821   0.37925
Si  10.44309 182.36889   2.24152
Si  12.66408 183.23782   2.24220
Si  13.79023 182.47354   0.31879
Si  16.01066 183.25263   0.35608
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Si  11.44400 198.15895   0.32055
Si  13.68721 198.98494   0.32055
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Si  11.49753 195.79801   0.31989
Si  14.85073 195.85526   2.24306
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Si  15.93665 195.07841   0.26695
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Si  13.79023 191.89589   0.31879
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Si  13.79023 201.31824   0.31879
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Si  11.49753 214.64271   0.31989
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Si  10.32290 321.42166   2.24389
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Si  13.79023 342.65349   0.31879
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Si  13.79023 361.49819   0.31879
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Si  15.85727 374.18635   0.30979
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Si  12.66408 371.68482   2.24220
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Si  51.82122 271.87959   0.26684
Si  55.22551 271.90412   2.29384
Si  53.03806 271.12710   2.21714
Si  56.37737 271.14313   0.32467
Si  50.89858 268.00584   2.21358
Si  53.14700 268.75473   2.29080
Si  54.26737 267.98704   0.36510
Si  56.46731 268.77051   0.25969
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Si  50.56458 277.27721   2.38087
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Si  53.98097 277.38661   0.34997
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Si  52.91638 431.17812   2.22206
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Si  52.89243 459.54857   2.18786
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Si  52.93495 457.19957   2.13636
Si  54.06216 456.41129   0.19402
Si  56.27196 457.20658   0.19831
Si  50.45099 472.81127   2.28322
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Si  67.88489  98.59294   0.32201
Si  70.11167  99.37045   0.29794
Si  64.04727 115.04157   2.12010
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Si  68.79822 272.19872   2.32913
Si  66.61657 271.35555   2.18628
Si  70.03128 271.32889   0.40761
Si  64.41512 268.06333   2.02333
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Si  65.19047 290.77316   0.35879
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Si  64.13516 286.77564   2.27659
Si  66.43666 287.51643   2.33828
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Si  64.03524 303.47365   2.48909
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Si  68.49286 300.21020   2.23768
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Si  66.54879 485.68679   2.01475
Si  67.60902 484.86244   0.06045
Si  69.88039 485.63306   3.73815
Si  64.09579 501.35254   2.10698
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Si  73.28321  92.45919   2.36854
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Si 106.76894 184.85294   2.38946
Si 107.88559 184.01000   0.41759
Si 110.13716 184.78086   0.45686
Si 104.57232 200.41593   2.47443
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Si 110.25303 347.36570   0.45496
Si 104.96266 344.17164   2.36855
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Si 108.23643 344.21666   0.36393
Si 110.49922 344.91844   0.47908
Si 104.45619 360.51753   2.44022
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Si 107.86229 360.50612   0.40969
Si 108.97603 359.80873   2.33304
Si 105.54987 357.40893   0.49824
Si 108.92594 357.42791   2.41633
Si 106.71716 356.58660   2.40650
Si 110.21661 356.82903   0.44080
Si 104.53768 353.53576   2.32354
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Si 110.20113 354.43044   0.30389
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Si 105.79823 376.26621   0.34484
Si 109.15816 376.30611   2.30415
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Si 104.77523 372.50094   2.30121
Si 107.04691 373.05716   2.44766
Si 108.19584 372.32893   0.51782
Si 110.41678 373.12520   0.33695
Si 104.40388 388.85540   2.04549
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Si 114.57911   5.02756   0.49271
Si 116.87230   5.76946   0.21553
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Si 111.23010 209.82498   2.22806
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Si 115.77839 209.30172   2.25890
Si 112.38534 206.89399   0.32687
Si 115.76396 206.99571   2.35441
Si 113.51209 206.06875   2.25534
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Si 116.90556 203.76074   0.32632
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Si 114.67019 370.03042   0.45518
Si 115.76808 369.31273   2.39043
Si 112.37549 366.79662   0.44899
Si 115.70924 366.88867   2.49376
Si 113.51112 366.09073   2.39737
Si 116.89123 366.13908   0.55504
Si 111.32640 363.11450   2.33368
Si 113.71552 363.77272   2.43681
Si 114.77147 362.90566   0.53061
Si 116.98731 363.72546   0.53789
Si 111.40631 379.42745   2.06942
Si 112.50146 378.68413   0.14886
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Si 115.97102 376.35178   2.20121
Si 113.70452 375.50263   2.28679
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Si 115.74122 385.88044   2.27553
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Si 113.70563 382.77021   2.32419
Si 114.77779 382.02244   0.39439
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Si 112.37158 397.73089   0.43720
Si 114.59317 398.55155   0.33857
Si 115.71077 397.75630   2.26586
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Si 115.76098 395.45994   2.17573
Si 113.57645 394.60265   2.28077
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Si 113.63563 392.18737   2.21676
Si 114.68991 391.40687   0.33035
Si 116.92972 392.24612   0.41678
Si 111.12823 407.85103   2.31629
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Si 115.63861 407.14711   2.25665
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Si 115.73330 404.81738   2.27278
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Si 129.30602 237.54258   1.89254
Si 125.92289 235.17226   0.19207
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Si 138.44031  90.30168   2.23557
Si 140.67761  91.17577   2.35350
Si 141.79641  90.47105   0.43441
Si 144.03104  91.16156   0.55051
Si 137.94652 106.73580   2.31483
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Si 138.28305  99.79284   2.49950
Si 140.43384 100.71671   2.34961
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Si 142.82180 320.44594   2.21422
Si 140.58454 319.62456   2.32203
Si 143.98654 319.68827   0.29709
Si 138.23256 316.71286   2.40229
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Si 141.75064 316.64489   0.46131
Si 144.01075 317.29091   0.41805
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Si 139.23172 332.05940   0.34773
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Si 142.69551 332.09454   2.29035
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Si 146.03330 153.19398   0.46888
Si 148.26923 154.02991   0.54295
Si 149.50463 153.27741   2.42706
Si 146.23429 150.82199   0.43993
Si 149.51709 150.86667   2.34149
Si 147.35941 150.03252   2.30394
Si 150.64627 150.11474   0.40144
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Si 145.87528 162.62048   0.44160
Si 148.13799 163.53960   0.22637
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Si 148.17661 270.00719   2.40994
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Si 148.03792 301.38349   2.15127
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Si 148.46110 299.06765   2.17487
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Si 145.28219 307.50591   2.17884
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Si 148.53533 307.41858   0.39549
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Si 144.98081 323.46337   2.25190
Si 146.14940 322.75595   0.28358
Si 148.33803 323.43943   0.11414
Si 149.44986 322.71585   2.08667
Si 146.16443 320.47340   0.35321
Si 149.49757 320.43520   2.29601
Si 147.31749 319.60748   2.33733
Si 150.62134 319.62040   0.36232
Si 145.06640 316.56166   2.33776
Si 147.23591 317.27269   2.17671
Si 148.41336 316.63027   0.23468
Si 150.70255 317.27086   0.24311
Si 144.81406 332.84631   2.27240
Si 145.93437 332.10112   0.35646
Si 148.21963 332.79640   0.28706
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Si 145.97477 329.72899   0.34102
Si 149.39664 329.71188   2.05773
Si 147.15476 328.90222   2.28004
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Si 149.37059 339.18077   2.19481
Si 147.13438 338.38905   2.35097
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Si 144.91129 335.26313   2.39647
Si 147.25045 336.01517   2.17481
Si 148.37724 335.16801   0.22356
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Si 145.98348 350.93049   0.36972
Si 148.19462 351.82870   0.21579
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Si 149.33189 348.68789   1.94343
Si 147.11068 347.80142   2.24002
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Si 147.21548 345.45898   2.17258
Si 148.29916 344.66761   0.23340
Si 150.50676 345.47339   3.83781
Si 145.02533 361.30271   2.30895
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Si 153.81911 166.64695   2.26951
Si 154.98230 165.89636   0.39317
Si 157.23689 166.73344   0.26181
Si 151.59079 182.39463   2.02699
Si 152.68189 181.65275   0.07368
Si 154.89988 182.44276   0.01069
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Si 155.90069 288.56560   0.12037
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Si 153.31820 304.47024   0.20576
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Si 156.72517 302.04705   2.09283
Si 154.53921 301.13932   2.16388
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Si 152.58100 298.10571   2.07673
Si 154.73147 298.87129   2.15641
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Si 151.57769 314.25496   2.12413
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Si 152.92199 311.25245   0.35497
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Si 152.04876 307.50685   2.24612
Si 154.35599 308.10127   2.24914
Si 155.48186 307.48978   0.28782
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Si 151.66672 323.41194   2.14173
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Si 152.74303 329.79568   3.78593
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Si 153.89392 329.00494   1.82141
Si 157.24124 329.05803   0.09074
Si 151.74082 325.82216   2.00035
Si 153.94729 326.64431   1.91216
Si 154.98511 325.87439   0.02982
Si 157.21822 326.71159   3.83233
Si 151.49888 342.33026   2.02241
Si 152.63746 341.58792   0.08657
Si 154.86335 342.35755   0.07917
Si 156.06519 341.64325   1.97623
Si 152.68829 339.21646   0.07020
Si 156.04108 339.31261   2.07030
Si 153.90318 338.38223   2.00783
Si 157.16739 338.47444   0.14125
Si 151.69669 335.21911   2.16394
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Si 157.24482 336.09461   0.15639
Si 151.54004 351.85226   2.11456
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Si 156.13320 348.74467   2.01011
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Si 154.99100 344.70592   3.81187
Si 157.21521 345.56467   3.84660
Si 151.74746 361.40553   2.26320
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Si 156.23565 360.72944   2.21613
Si 152.75452 358.20526   0.08809
Si 156.17510 358.32108   2.00611
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Si 151.66143 354.25269   2.15232
Si 153.86275 355.10049   2.04411
Si 155.05953 354.30477   0.15909
Si 157.34381 355.08467   0.18690
Si 151.82220 370.84154   2.24883
Si 152.92869 370.13946   0.31088
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Si 156.28375 370.19260   2.24040
Si 152.91898 367.78118   0.38932
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Si 154.14614 553.15651   2.27388
Si 155.29369 552.38645   0.32857
Si 157.51572 553.15318   0.23874
Si 151.73694 568.70858   2.02001
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Si 156.22062 567.95787   1.85870
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Si 151.62343 561.69341   2.11575
Si 153.82613 562.40924   2.09638
Si 155.02243 561.77811   0.18258
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Si 158.43051 344.87145   1.92919
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Si 158.35578 361.51643   2.28221
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Si 168.57591 166.07351   0.35913
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Si 168.56493 194.35147   0.47650
Si 170.85520 195.14979   0.44592
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Si 165.16541 370.96425   2.37918
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Si 169.65916 370.20448   2.35904
Si 166.32792 367.82037   0.38475
Si 169.61296 367.87527   2.26881
Si 167.48384 367.00329   2.30967
Si 170.75451 367.09732   0.37772
Si 165.05995 364.00686   2.37683
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Si 169.46832 388.93278   1.91694
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Si 175.35230  15.38783   0.34991
Si 177.57326  16.26039   0.39351
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Si  14.80831  56.27865   2.24389
Si  11.49753  53.84732   0.31989
Si  14.85073  53.92134   2.24306
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Si  15.92105  53.07112   0.30705
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Si  12.66408  50.71532   2.24220
Si  13.79023  49.95667   0.31879
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Si  11.44400  65.63035   0.32055
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Si  11.49753  63.26967   0.31989
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Si  10.44309  59.25763   2.24152
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Si  13.79023  97.06842   0.31879
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Si  13.68721 188.95811   0.32055
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Si  10.32290 217.15451   2.24389
Si  11.44400 216.38795   0.32055
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Si  11.49753 214.02727   0.31989
Si  14.85073 214.10129   2.24306
Si  12.61661 213.25497   2.24312
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Si  10.44309 210.01523   2.24152
Si  12.66408 210.89527   2.24220
Si  13.79023 210.13662   0.31879
Si  15.93255 211.02268   0.24379
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Si  12.66408 229.73997   2.24220
Si  13.79023 228.98132   0.31879
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Si  12.61661 241.52202   2.24312
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Si  50.60274 125.95650   2.32506
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Si  56.31428 126.85455   0.31795
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Si  53.90294 142.64146   0.29582
Si  55.02004 141.84065   2.25832
Si  51.75621 139.30758   0.37807
Si  55.06309 139.49059   2.30009
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Si  56.21788 138.80835   0.34559
Si  50.68991 135.29687   2.37374
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Si  54.05616 135.48629   0.47377
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Si  53.96733 152.17248   0.39467
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Si  53.97319 145.00107   0.41959
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Si  55.43366 328.20227   2.11441
Si  53.21609 327.48834   2.31485
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Si  50.88315 324.30847   2.22807
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Si  54.26388 324.37212   0.45115
Si  56.55967 325.11165   0.29540
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Si  53.03356 515.77885   2.27238
Si  56.45725 515.89456   0.35991
Si  50.78973 512.59172   2.44915
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Si  54.03231 512.73616   0.36531
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Si  51.84354 525.69221   0.37529
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Si  63.02832 145.90969   0.25236
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Si  57.51176 305.47859   2.65870
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Si  61.91235 318.81753   2.29197
Si  59.68850 318.03486   2.35544
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Si  57.58056 315.04015   2.25970
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Si  60.86150 314.95867   0.38171
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Si  60.91661 324.30896   0.18599
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Si  60.94473 340.70109   3.84034
Si  62.15917 340.07369   1.95010
Si  58.80941 337.59419   0.06400
Si  62.15691 337.69163   2.07988
Si  59.95922 336.75958   1.92494
Si  63.39618 336.96936   0.21667
Si  57.71860 333.74279   2.19803
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Si  61.21537 333.71007   0.33847
Si  63.35870 334.66243   0.33921
Si  57.58905 350.00242   2.05882
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Si  67.49005 171.22713   0.40621
Si  68.63184 170.44805   2.34098
Si  65.25623 168.09405   0.24238
Si  68.72653 168.08842   2.35238
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Si  64.30031 183.02471   2.23128
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Si  67.61249 359.86217   3.82473
Si  68.82109 358.98179   1.99236
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Si  64.31376 352.64851   2.14964
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Si  68.58797 556.89548   2.11355
Si  65.37606 554.45001   0.19898
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Si  75.49270 349.69222   2.13613
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Si  73.35213 346.52437   2.20263
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Si  71.05332 362.18217   2.01010
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Si  72.05531 375.68431   0.21683
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Si 115.90637  77.10625   2.39011
Si 112.52450  74.65796   0.29331
Si 115.89921  74.80612   2.33443
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Si 117.06688  74.10812   0.48659
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Si 112.56794 461.06462   0.23703
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Si 120.45350  81.27219   2.35130
Si 121.54016  80.49656   0.45247
Si 123.77749  81.30342   0.48163
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Si 121.52861  89.83478   0.31961
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Si 118.36974 282.21748   0.38439
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Si 129.34210 105.69615   2.40177
Si 125.84051 103.39613   0.47388
Si 129.13842 103.34225   2.41683
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Si 133.71567 109.75723   2.17422
Si 134.89336 109.05343   0.26931
Si 137.11767 109.84461   0.31948
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Si 135.85663 329.57474   2.19936
Si 133.59340 328.76466   2.20249
Si 137.01185 328.78365   0.31881
Si 131.48377 325.65629   2.36080
Si 133.61538 326.45257   2.25387
Si 134.78173 325.69856   0.30611
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Si 131.57952 342.04268   2.45758
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Si 134.82844 342.10600   0.37314
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Si 131.51721 495.31423   2.25141
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Si 137.94246 382.47110   2.34796
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Si 145.88773  21.51585   0.34168
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Si 144.84140 210.54984   2.08236
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Si 147.24981 206.71965   2.30347
Si 150.56432 206.84387   0.33407
Si 144.85375 203.62467   2.42583
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Si 149.27414 386.45837   2.11411
Si 147.01343 385.75667   2.15470
Si 150.41831 385.70676   0.25417
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Si 144.85207 417.90013   2.19323
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Si 151.59529  34.04343   2.13639
Si 153.78786  34.95306   2.05746
Si 154.95275  34.10672   0.16606
Si 157.14293  35.15098   0.10417
Si 151.57382  50.77747   2.30263
Si 152.70113  49.91832   0.30194
Si 154.92113  50.71987   0.34124
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Si 152.75479  47.59322   0.39799
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Si 153.90845  46.80723   2.33104
Si 157.36832  46.75923   0.41959
Si 151.79951  43.55309   2.15601
Si 154.07058  44.38231   2.32449
Si 155.18291  43.61803   0.41561
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Si 151.67473  59.86950   2.37429
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Si 155.10372  60.20682   0.47094
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Si 156.35607  85.14563   2.06940
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Si 151.67839  81.26491   2.23138
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Si 151.61305  97.63966   2.19621
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Si 155.16602 194.45087   0.47825
Si 157.47828 195.11574   0.14714
Si 151.68701 210.76981   2.33541
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Si 154.98200 210.81098   0.43492
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Si 152.82608 207.57903   0.33126
Si 156.13440 207.67361   2.48146
Si 153.94050 206.80918   2.30109
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Si 157.37623 214.04469   0.34562
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Si 151.72226 222.60526   2.23664
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Si 156.21730 237.99597   2.06025
Si 152.76441 235.72455   0.39110
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Si 155.96821 396.06056   2.07003
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Si 157.08858 392.97045   0.19761
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Si 151.66280 420.16657   2.21948
Si 153.91129 421.04791   2.07436
Si 155.04226 420.25699   0.19268
Si 157.23044 421.09737   0.13757
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Si 176.42983 474.28201   1.99863
Si 173.13454 471.83632   0.25633
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Si  10.44309 105.74867   2.24152
Si  12.66408 106.63982   2.24220
Si  13.79023 105.88680   0.31879
Si  15.95631 106.77746   0.25109
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Si  11.44400 121.54875   0.32055
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Si  14.80831 121.63622   2.24389
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Si  14.85073 119.27912   2.24306
Si  12.61661 118.42163   2.24312
Si  16.03172 118.49892   0.32078
Si  10.44309 115.17102   2.24152
Si  12.66408 116.06217   2.24220
Si  13.79023 115.30915   0.31879
Si  15.97991 116.28583   0.30117
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Si  11.44400 130.97110   0.32055
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Si  11.49753 128.61069   0.31989
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Si  10.44309 228.23922   2.24152
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Si  10.32290 244.80025   2.24389
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Si  14.80831 244.12677   2.24389
Si  11.49753 241.67889   0.31989
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Si  12.61661 240.91218   2.24312
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Si  10.44309 237.66157   2.24152
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Si  10.44309 265.92862   2.24152
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Si  13.79023 266.06675   0.31879
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Si  18.30694 128.82146   0.34592
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Si  54.36594  10.55868   0.38980
Si  55.40656   9.76680   2.34673
Si  52.09059   7.18351   0.30042
Si  55.54343   7.33495   2.39831
Si  53.27497   6.32870   2.19234
Si  56.65446   6.54903   0.47730
Si  51.01346   3.35455   2.30783
Si  53.27418   4.03926   2.35010
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Si  56.47915  16.06170   0.38761
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Si  50.89644  78.51791   2.37887
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Si  51.96685 167.30051   3.79416
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Si  50.84988 163.34286   2.09112
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Si  54.19485 163.51960   3.83313
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Si  52.89741 185.56075   2.17766
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Si  50.63443 182.25862   2.21999
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Si  56.22616 183.26362   0.26735
Si  50.66303 198.70289   2.18708
Si  51.69633 197.87948   0.27822
Si  53.94600 198.78742   0.32741
Si  55.18407 198.18059   2.28129
Si  51.77979 195.60437   0.20580
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Si  56.33253 194.96229   0.25604
Si  50.65604 191.69324   2.03574
Si  52.89537 192.45884   2.14221
Si  54.09150 191.78813   0.18882
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Si  54.32337 323.95070   0.19836
Si  56.53001 324.70926   0.41601
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Si  54.28605 333.33116   0.15882
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Si  53.02165 343.36075   1.92215
Si  54.26119 342.67431   3.83877
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Si  50.93083 358.92118   2.08458
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Si  54.32628 359.07510   0.27785
Si  55.43196 358.36688   2.18110
Si  51.92805 355.89377   0.23736
Si  55.31421 355.98319   2.28812
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Si  56.54871 355.15740   0.31733
Si  50.75348 352.12542   2.29802
Si  53.00189 352.80436   2.29436
Si  54.18681 352.06409   0.34395
Si  56.34263 352.92559   0.10640
Si  50.98558 368.19601   2.33659
Si  52.18646 367.47071   0.37951
Si  54.30644 368.37637   0.30496
Si  55.40472 367.67988   2.21243
Si  51.96723 365.14720   0.30317
Si  55.29685 365.28673   2.11904
Si  53.10992 364.38722   2.22599
Si  56.47520 364.59161   0.21721
Si  50.82685 361.24020   2.10061
Si  53.00080 362.10429   2.06559
Si  54.08509 361.29563   0.22322
Si  56.31967 362.31247   0.33081
Si  50.66316 377.80790   2.04191
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Si  54.13925 377.77198   0.28685
Si  55.21306 376.91594   2.18561
Si  51.85388 374.60834   0.24232
Si  55.16273 374.63922   2.24454
Si  52.91562 373.78525   2.15502
Si  56.24979 373.92911   0.35844
Si  50.71185 370.53075   2.27944
Si  52.86922 371.51150   2.10631
Si  54.10220 370.73052   0.20688
Si  56.27704 371.64349   0.37488
Si  50.75813 387.05445   2.27559
Si  51.94819 386.35030   0.35515
Si  54.24448 387.20550   0.30950
Si  55.39334 386.32969   2.21069
Si  51.86533 384.05054   0.30263
Si  55.28256 383.99661   2.18024
Si  52.96802 383.16251   2.26842
Si  56.35858 383.31351   0.23122
Si  50.60122 380.14349   2.08908
Si  52.88645 380.88114   2.12699
Si  54.05613 380.15866   0.14690
Si  56.20194 381.04689   0.40801
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Si  51.93772 395.64061   0.30625
Si  54.07857 396.51875   0.28102
Si  55.24065 395.84359   2.22071
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Si  57.54068  12.92631   2.37723
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Si  57.42772 370.89003   2.23665
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Si  60.71871 371.03645   0.28129
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Si  57.31963 399.14111   2.24003
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Si  67.75672  38.75634   0.28288
Si  68.88420  37.95341   2.23020
Si  65.43711  35.66087   0.20346
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Si  64.18131 192.08785   2.34568
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Si  68.68739 224.50169   2.53092
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Si  69.82179 223.60800   0.57233
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Si  67.57619 425.28518   0.41800
Si  68.72570 424.61901   2.37798
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Si 105.64128 124.11104   0.23701
Si 107.86299 125.02366   0.29680
Si 108.94891 124.20282   2.20708
Si 105.63562 121.71112   0.30522
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Si 104.54987 296.75629   2.12636
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Si 104.70809 313.28605   2.21499
Si 105.84038 312.43652   0.29126
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Si 109.14658 312.64072   2.23845
Si 105.53032 310.20674   0.43352
Si 108.97523 310.26637   2.28581
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Si 115.84033 133.80009   1.86851
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Si 116.86400 130.57897   0.19329
Si 111.11636 127.49649   2.20331
Si 113.36836 128.21508   2.29182
Si 114.42192 127.33852   0.32679
Si 116.59750 128.20233   0.35139
Si 111.38894 143.72917   2.38953
Si 112.51648 143.03444   0.47103
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Si 112.38813 140.70254   0.32638
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Si 113.56073 140.01465   2.33929
Si 117.08222 139.87289   0.24569
Si 111.32578 136.83059   2.07248
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Si 116.80202 137.56936   0.26409
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Si 113.57205 149.36752   2.23871
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Si 113.53536 319.06482   2.34920
Si 116.90011 319.08870   0.50109
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Si 113.36699 316.63844   2.42836
Si 114.45974 315.90335   0.47505
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Si 114.73105 332.29320   0.66588
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Si 112.52432 329.03556   0.45206
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Si 111.24054 504.31557   1.99537
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Si 116.98690 516.81612   0.03989
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Si 119.32044 152.61578   0.42359
Si 121.46391 153.47496   0.46283
Si 122.62943 152.72571   2.38179
Si 119.13470 150.35822   0.31917
Si 122.48320 150.43768   2.25886
Si 120.21904 149.55503   2.25413
Si 123.66942 149.49831   0.31207
Si 118.06804 146.32532   2.25893
Si 120.18051 147.15849   2.17725
Si 121.32012 146.37108   0.30298
Si 123.54378 147.18681   0.34403
Si 117.94107 163.01688   2.25989
Si 119.18278 162.17207   0.38183
Si 121.47805 162.92533   0.45678
Si 122.65957 162.07510   2.39692
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Si 122.59339 159.74210   2.48466
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Si 118.20228 172.31725   2.40151
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Si 117.01682 277.87490   2.19983
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Si 119.09045 310.69020   0.30023
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Si 117.81217 306.69830   2.13352
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Si 121.00135 306.96583   0.22455
Si 123.33260 307.76485   0.24139
Si 118.15009 323.09751   2.29462
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Si 123.50536 328.60306   0.47910
Si 118.01659 325.43300   2.42989
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Si 118.13040 341.72188   2.45435
Si 119.30252 340.91152   0.49173
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Si 122.73775 341.07226   2.32395
Si 119.23473 338.58219   0.50153
Si 122.60528 338.77732   2.45531
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Si 123.70818 338.00592   0.56498
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Si 124.74136 155.81878   2.52818
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Si 125.83711 329.40775   0.45095
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Si 129.31408 348.33210   2.47063
Si 127.11685 347.45087   2.49512
Si 130.47308 347.57328   0.56006
Si 124.88290 344.34327   2.40103
Si 127.12987 345.13915   2.55690
Si 128.20193 344.39968   0.61712
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Si 134.76385 182.24217   0.35313
Si 135.95200 181.44055   2.25436
Si 132.71486 178.89946   0.53525
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Si 133.51124 385.45172   2.36776
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Si 134.54113 382.22489   0.52265
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Si 147.29039  75.04161   2.18433
Si 150.60597  75.12896   0.30245
Si 144.93478  71.75174   2.37025
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Si 155.00091 107.31489   0.08713
Si 156.22951 106.53473   2.04963
Si 152.85010 104.09047   0.21062
Si 156.14981 104.23094   2.10070
Si 153.87899 103.33569   2.13761
Si 157.23093 103.35770   0.16042
Si 151.48320 100.17669   2.15673
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Si 154.85182 100.17554   0.21151
Si 157.06111 101.06325   0.14368
Si 151.76998 116.65122   2.17593
Si 153.01349 115.86742   0.24378
Si 155.15121 116.74572   0.25872
Si 156.39341 115.94300   2.13648
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Si 157.34146 112.73350   0.15463
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Si 154.35275 295.27549   0.25618
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Si 154.35191 292.89273   0.18193
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Si 158.54200 292.02601   3.80881
Si 153.37359 288.78770   2.05896
Si 155.48788 289.70197   2.01079
Si 156.49713 288.71807   0.12286
Si 158.57911 289.72503   0.09806
Si 152.50447 305.39005   2.32434
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Si 156.92235 304.61406   2.34125
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Si 158.23971 301.53712   0.28171
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Si 156.17030 339.53721   2.09409
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Si 154.99380 448.73953   0.31205
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Si 158.39688 109.84824   2.29702
Si 160.64956 110.58982   2.31181
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Si 166.33350 134.95482   0.30438
Si 168.51241 135.85469   0.31129
Si 169.67984 135.16086   2.21734
Si 166.14724 132.67677   0.37658
Si 169.55971 132.87263   2.22439
Si 167.31882 131.92590   2.25431
Si 170.75916 131.99083   0.33343
Si 164.98869 128.74885   2.47028
Si 167.26058 129.59498   2.22901
Si 168.42834 128.75914   0.38068
Si 170.72642 129.60835   0.37125
Si 165.09271 145.35276   2.37336
Si 166.30333 144.66575   0.38947
Si 168.56208 145.41683   0.34342
Si 169.68987 144.56818   2.29446
Si 166.28136 142.33900   0.29571
Si 169.58477 142.21716   2.05904
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Si 170.67530 141.41571   0.11260
Si 165.03334 138.18763   2.31887
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Si 165.19230 154.74756   2.31811
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Si 169.22136 289.01670   0.13458
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Si 170.26888 304.81278   1.96755
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Si 165.53959 307.94696   1.99559
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Si 165.20001 324.16496   2.19731
Si 166.44683 323.36471   0.28669
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Si 168.57172 522.05765   0.36308
Si 169.76211 521.41621   2.26658
Si 166.32647 518.91177   0.35831
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Si 171.79404 138.39842   2.18243
Si 174.01955 139.22187   2.15784
Si 175.11778 138.57381   0.24966
Si 177.32206 139.34465   0.18518
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Si 173.15583 311.88421   0.19373
Si 176.51267 312.05386   2.18055
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Si 175.16840 343.30619   0.33528
Si 176.34248 342.66447   2.27868
Si 172.95090 340.17755   0.19030
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Si  56.24550  62.58876   0.45894
Si  50.64519  59.35600   2.35207
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Si  54.24872 264.31378   0.36407
Si  55.34739 263.55089   2.36822
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Si  54.93256 452.01239   2.18077
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Si  52.76472 448.77634   2.14955
Si  56.07668 448.87746   0.26678
Si  50.72168 445.60004   2.04522
Si  52.88522 446.44982   2.15370
Si  53.96749 445.69613   0.23806
Si  56.19435 446.51790   0.28837
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Si  59.81960  71.99773   2.29776
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Si  57.59586  68.76451   2.43280
Si  59.80978  69.60560   2.28688
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Si  64.31014  87.86783   2.24296
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Si  68.63268 280.50595   2.25817
Si  66.34913 279.59931   2.30560
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Si  64.19163 276.33301   2.31875
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Si  66.26541 477.66452   2.15446
Si  69.60966 477.70630   0.07543
Si  64.20071 474.44621   2.16967
Si  66.43726 475.30579   2.01342
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Si  84.53978 314.84192   2.38083
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Si 106.87048 177.47005   2.27903
Si 110.20852 177.48801   0.27270
Si 104.65656 174.24617   2.30884
Si 106.85913 175.14145   2.30410
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Si 110.16937 175.13954   0.41603
Si 104.59182 190.48011   2.40967
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Si 108.05996 190.60094   0.37847
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Si 106.97602 186.77887   2.42673
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Si 104.73198 183.54479   2.47225
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Si 108.77117 310.18984   2.37533
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Si 104.24823 306.01910   2.42845
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Si 107.65424 306.14075   0.36621
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Si 104.67727 334.33405   2.65915
Si 106.74860 335.17081   2.50362
Si 107.85183 334.46678   0.59764
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Si 104.69031 350.79480   2.53695
Si 105.82221 349.95994   0.49122
Si 108.18100 350.70228   0.57059
Si 109.19195 349.92772   2.52611
Si 105.76048 347.59441   0.41572
Si 109.06399 347.64520   2.39849
Si 106.85292 346.82237   2.37208
Si 110.12547 346.86280   0.45597
Si 104.61447 343.63192   2.27523
Si 106.83929 344.41212   2.29666
Si 108.06415 343.76722   0.39154
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Si 110.38159 356.27243   0.62184
Si 104.87801 353.15172   2.47999
Si 107.16510 353.89205   2.47051
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Si 104.65325 369.44280   2.35865
Si 105.81532 368.73208   0.43598
Si 108.02464 369.57045   0.46065
Si 109.18270 368.86832   2.30284
Si 105.89695 366.45786   0.43325
Si 109.18388 366.54771   2.31938
Si 107.01350 365.71696   2.37062
Si 110.37333 365.70553   0.39421
Si 104.85434 362.42383   2.35577
Si 106.99672 363.34307   2.43344
Si 108.20966 362.53706   0.58743
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Si 109.92218 563.56544   0.61932
Si 104.56144 560.31800   2.14769
Si 106.70048 561.14637   2.27192
Si 107.90367 560.34009   0.36269
Si 110.12104 561.18433   0.54775
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Si 111.56143   4.82073   2.14859
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Si 113.68043 186.95751   2.37812
Si 117.00999 187.02519   0.45329
Si 111.57890 183.67730   2.43731
Si 113.78295 184.54891   2.43011
Si 114.87348 183.86022   0.52427
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Si 111.37220 381.40219   2.08894
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Si 120.56057   8.08348   2.40656
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Si 118.22013   4.94080   2.27437
Si 120.48553   5.62752   2.31786
Si 121.73211   5.14206   0.42727
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Si 120.11896 394.32135   2.29986
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Si 120.17081 391.95966   2.31142
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Si 127.02554 213.07634   2.14666
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Si 133.75210  37.01153   2.13716
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Si 131.47118  33.76808   2.21058
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Si 131.55446  50.06605   2.32500
Si 132.61867  49.25883   0.42100
Si 134.80923  50.20461   0.37408
Si 136.02323  49.47576   2.31117
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Si 135.97812  47.07147   2.13731
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Si 137.11216 234.42485   0.19300
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Si 142.83189  85.06042   2.29436
Si 140.48076  84.17989   2.35706
Si 143.90243  84.20666   0.36040
Si 138.30913  80.94512   2.54670
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Si 144.12779 310.78417   0.22716
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Si 148.31722 128.37200   0.32825
Si 150.52858 129.32436   0.12046
Si 144.84616 144.62730   2.49858
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Si 146.03192 141.58557   0.52479
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Si 147.16197 140.94350   2.44094
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Si 149.77036 314.05850   2.13174
Si 146.36230 311.55802   0.32034
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Si 147.68362 308.49729   2.19465
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Si 145.00316 342.40024   2.13447
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Si 146.24219 339.41464   0.18853
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Si 146.10736 539.66741   0.41458
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Si 153.90623 159.81137   2.49852
Si 157.23970 159.94178   0.27214
Si 151.64062 156.56766   2.32794
Si 153.84305 157.41263   2.47835
Si 155.11226 156.80525   0.51623
Si 157.34967 157.61763   0.34355
Si 151.68970 173.22464   2.40089
Si 152.75992 172.31426   0.39984
Si 155.00162 173.18019   0.41646
Si 156.05727 172.46937   2.35591
Si 152.76383 170.00800   0.34632
Si 156.09428 170.11277   2.25124
Si 153.80849 169.21856   2.28796
Si 157.25157 169.32746   0.30117
Si 151.70514 166.08089   2.38849
Si 154.01447 166.86753   2.43466
Si 155.19150 166.02596   0.47604
Si 157.34937 166.97204   0.34381
Si 151.62593 182.61050   2.21076
Si 152.64887 181.75918   0.32225
Si 154.80338 182.69913   0.32145
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Si 152.70948 179.53541   0.48227
Si 156.01702 179.55899   2.36972
Si 153.78170 178.69106   2.39479
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Si 151.67541 175.57315   2.50185
Si 153.90959 176.30658   2.47819
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Si 151.51977 192.04626   2.40256
Si 152.69662 191.31545   0.44350
Si 154.93943 192.04690   0.46574
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Si 151.62667 201.40553   2.39028
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Si 152.82524 207.84320   0.55396
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Si 151.73928 203.72383   2.45128
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Si 151.76323 241.08716   2.11618
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Si 156.89107 286.58578   0.38408
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Si 154.57981 283.18587   0.29459
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Si 155.68770 282.33922   2.23101
Si 158.77861 282.57754   0.34065
Si 153.43670 279.02524   2.19914
Si 155.57245 280.02296   2.31591
Si 156.57577 279.10689   0.38635
Si 158.69481 280.11493   0.37151
Si 153.42282 296.24951   2.16232
Si 154.51117 295.47634   0.17902
Si 156.80428 296.26825   0.19482
Si 157.86970 295.44475   2.13385
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Si 157.94539 293.05765   2.10155
Si 155.84120 292.16859   2.18707
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Si 153.76729 288.83826   2.25230
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Si 156.91123 288.90557   0.35269
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Si 155.10888 301.74841   2.16178
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Si 151.94334 317.19549   1.92262
Si 154.15090 317.95756   2.10205
Si 155.31956 317.21560   0.19809
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Si 152.73166 332.63154   0.25916
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Si 156.17768 332.67419   2.10991
Si 152.77819 330.34675   0.18759
Si 156.21543 330.36342   2.13480
Si 153.92058 329.59620   2.13781
Si 157.29898 329.63794   0.23765
Si 151.73966 326.41901   2.21369
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Si 151.64274 335.67676   1.98016
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Si 155.02140 335.74305   0.15503
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Si 152.97253 351.23436   0.36625
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Si 156.07576 349.21030   2.34483
Si 153.89843 348.10232   2.19184
Si 157.29459 348.37386   0.41723
Si 151.72310 345.00399   2.15969
Si 153.91775 345.78571   2.30103
Si 155.07862 345.23450   0.36915
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Si 151.68743 361.34650   2.26397
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Si 151.80568 543.07825   2.04283
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Si 159.30227 182.12928   0.57001
Si 161.48045 182.91693   0.37449
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Si 160.60740 339.08629   1.91134
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Si 158.38487 335.82263   1.87014
Si 160.58822 336.75697   1.92088
Si 161.72542 336.06404   3.83629
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Si 161.83081 354.74323   0.40993
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Si 162.87130 370.54255   2.44181
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Si 159.21105 568.62850   0.14047
Si 161.53121 569.25761   0.13188
Si 162.73349 568.65430   2.04331
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Si 167.21538 188.69579   2.43982
Si 170.61685 188.59472   0.43026
Si 165.14750 185.48485   2.22113
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Si 170.85202 186.31460   0.36892
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Si 168.46781 202.12912   0.38956
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Si 169.65896 323.77142   2.06711
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Si 165.50970 317.49689   2.19128
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Si 165.09513 345.47158   2.27841
Si 167.32068 346.25940   2.38059
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Si 166.34456 361.17680   0.11119
Si 168.55712 361.95693   0.15026
Si 169.69436 361.24066   2.13354
Si 166.35561 358.87811   0.09476
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Si 165.21801 354.84104   2.27743
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Si 167.27691 376.97039   2.15108
Si 170.76632 377.09200   0.08417
Si 165.25774 373.76912   2.33197
Si 167.39337 374.61805   2.17583
Si 168.45192 373.94502   0.23151
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Si  13.79023  38.72241   0.31879
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Si  16.02610 230.40201   0.31268
Si  10.44309 226.99781   2.24152
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Si  13.79023 227.16941   0.31879
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Si  11.49753 240.44802   0.31989
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Si  12.66408 237.33351   2.24220
Si  13.79023 236.59176   0.31879
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Si  13.79023 349.65996   0.31879
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Si  14.85073 363.06288   2.24306
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Si  10.44309 387.17776   2.24152
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Si  13.79023 387.34936   0.31879
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Si  10.32290 403.73758   2.24389
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Si  15.98834 418.75085   0.33399
Si  10.44309 415.44481   2.24152
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Si  55.24188 119.43615   2.49831
Si  52.94391 118.66454   2.44291
Si  56.33731 118.64417   0.54034
Si  50.73782 115.38027   2.47670
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Si  56.40817 116.38496   0.59614
Si  50.67853 131.88480   2.37608
Si  51.79282 131.14623   0.47642
Si  54.02833 131.98236   0.33676
Si  55.05613 131.33318   2.28527
Si  51.76157 128.75032   0.47584
Si  55.09170 128.96178   2.32686
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Si  54.08448 125.02331   0.38104
Si  56.29285 125.78956   0.43945
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Si  52.18058 319.66523   0.30179
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Si  55.58172 317.50616   2.49658
Si  53.19526 316.63414   2.37503
Si  56.71535 316.66258   0.57832
Si  51.00950 313.41785   2.51007
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Si  54.47896 313.58595   0.44541
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Si  50.75715 473.49107   2.15437
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Si  50.86465 492.52811   2.40244
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Si  55.27584 505.90337   2.16212
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Si  56.47197 505.19014   0.24217
Si  50.90508 501.77945   2.40868
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Si  56.51707 502.85279   0.30688
Si  50.57691 518.31022   2.40619
Si  51.67947 517.65752   0.50773
Si  54.06519 518.33951   0.38810
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Si  69.80154 145.22380   0.44275
Si  64.04419 160.70714   2.28777
Si  65.22406 159.97540   0.37927
Si  67.54931 160.78373   0.37570
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Si  65.31328 157.66836   0.31271
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Si  65.39470 320.27352   0.54418
Si  67.64454 320.98394   0.65313
Si  68.70794 320.34763   2.58669
Si  65.49589 317.88483   0.52879
Si  68.88396 318.03114   2.43063
Si  66.63079 317.12890   2.40517
Si  70.01014 317.26785   0.46623
Si  64.47125 313.84137   2.54148
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Si  67.81950 314.08664   0.55065
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Si  66.67713 336.02803   2.17805
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Si  66.68552 333.67183   2.24831
Si  67.78965 332.95265   0.34086
Si  70.08660 333.71424   0.26499
Si  64.23092 349.32755   2.19926
Si  65.49845 348.62350   0.27011
Si  67.71498 349.34092   0.15278
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Si  64.09475 547.09021   2.29193
Si  65.28782 546.38449   0.34179
Si  67.43896 547.14523   0.20188
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Si  71.22027 351.94873   2.18076
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Si  78.07012 342.60487   2.09765
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Si 106.87306  45.28518   2.17152
Si 110.24840  45.22361   0.13835
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Si 104.84650 202.13407   2.37789
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Si 108.82387 236.57750   1.94644
Si 105.57955 234.23236   0.17731
Si 108.91014 234.20040   1.88223
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Si 110.02094 233.51296   3.81637
Si 104.55987 230.49580   2.05660
Si 106.77365 231.18955   2.13847
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Si 111.22028 221.28808   2.09124
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Si 115.57723 243.67561   2.22596
Si 113.34571 242.86775   2.15025
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Si 116.64419 240.62435   0.16665
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Si 114.16044 256.14829   0.49079
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Si 115.47708 253.00228   2.29556
Si 113.36460 252.22740   2.10504
Si 116.56292 252.40048   0.36706
Si 111.07768 249.15928   2.14446
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Si 111.09158 409.56006   2.35686
Si 113.32854 410.46812   2.45782
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Si 114.55146 426.34782   0.47004
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Si 111.42151 428.59206   2.36237
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Si 111.31462 445.07396   2.26242
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Si 112.50033 441.96055   0.27230
Si 115.81778 442.07337   2.08937
Si 113.51172 441.29923   2.17141
Si 117.00404 441.49194   0.21455
Si 111.40017 437.95759   2.36147
Si 113.60713 438.93607   2.27900
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Si 117.10114 439.14905   0.17999
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Si 133.77264 102.85732   2.20377
Si 137.21294 102.82800   0.30217
Si 131.70736  99.59731   2.26808
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Si 133.61942 319.80407   2.20356
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Si 141.59046 137.57623   0.41775
Si 143.74155 138.46953   0.51816
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Si 140.61117 347.91882   2.15766
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Si 142.64098 367.59229   2.32516
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Si 143.77515 366.73911   0.42988
Si 138.32899 363.46127   2.35967
Si 140.61446 364.31366   2.41633
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Si 140.38621 562.11988   2.06948
Si 141.52919 561.46738   0.13696
Si 143.71054 562.31606   0.25106
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Si 149.56751  10.15459   2.28466
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Si 149.29732 200.63125   2.45819
Si 146.08936 198.16949   0.31087
Si 149.40302 198.21612   2.29324
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Si 144.79158 380.18734   2.29934
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Si 148.10792 380.16057   0.37920
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Si 149.13269 396.00979   2.23059
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Si 144.82440 561.64208   2.09364
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Si 153.97487  18.81948   2.34658
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Si 155.15487  15.65668   0.49038
Si 157.32249  16.58234   0.28895
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Si 152.73333  31.47087   0.29395
Si 154.94034  32.21423   0.39072
Si 155.99199  31.54714   2.24827
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Si 157.08784  28.30759   0.34890
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Si 151.75580 185.05476   2.22455
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Si 154.96544 201.58600   0.54831
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Si 153.77019 414.42550   2.12434
Si 157.22439 414.45125   0.12906
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Si 159.65674  38.47040   0.35735
Si 162.85814  38.71105   2.25909
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Si 158.49981  34.61811   2.12235
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Si  14.85073  98.63841   2.24306
Si  12.61661  97.74742   2.24312
Si  15.97915  97.80506   0.34248
Si  10.44309  94.46420   2.24152
Si  12.66408  95.38866   2.24220
Si  13.79023  94.65253   0.31879
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Si  10.32290 111.02342   2.24389
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Si  14.80831 110.41723   2.24389
Si  11.49753 107.91968   0.31989
Si  14.85073 108.06076   2.24306
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Si  10.44309 103.88655   2.24152
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Si  13.79023 104.07488   0.31879
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Si  11.44400 119.70164   0.32055
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Si  14.80831 119.83958   2.24389
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Si  13.79023 113.49723   0.31879
Si  16.10099 114.28252   0.31357
Si  10.32290 129.86812   2.24389
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Si  13.68721 130.00606   0.32055
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Si  13.79023 122.91958   0.31879
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Si  10.44309 132.15360   2.24152
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Si  11.44400 147.96869   0.32055
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Si  11.49753 145.60908   0.31989
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Si  16.00847 144.95988   0.30966
Si  10.44309 141.57595   2.24152
Si  12.66408 142.50041   2.24220
Si  13.79023 141.76428   0.31879
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Si  10.32290 158.13517   2.24389
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Si  10.32290 176.97987   2.24389
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Si  14.85073 174.01721   2.24306
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Si  10.44309 169.84300   2.24152
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Si  13.79023 170.03133   0.31879
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Si  10.44309 198.11005   2.24152
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Si  16.06485 211.00288   0.29620
Si  10.44309 207.53240   2.24152
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Si  13.79023 207.72073   0.31879
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Si  10.32290 224.09162   2.24389
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Si  13.68721 224.22956   0.32055
Si  14.80831 223.48543   2.24389
Si  11.49753 220.98788   0.31989
Si  14.85073 221.12896   2.24306
Si  12.61661 220.23797   2.24312
Si  16.05707 220.47088   0.24355
Si  10.44309 216.95475   2.24152
Si  12.66408 217.87921   2.24220
Si  13.79023 217.14308   0.31879
Si  15.94935 218.14980   0.43748
Si  10.32290 233.51397   2.24389
Si  11.44400 232.76984   0.32055
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Si  14.80831 232.90778   2.24389
Si  11.49753 230.41023   0.31989
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Si  12.61661 229.66032   2.24312
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Si  10.44309 226.37710   2.24152
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Si  13.79023 226.56543   0.31879
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Si  11.49753 239.83258   0.31989
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Si  10.44309 235.79945   2.24152
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Si  13.79023 235.98778   0.31879
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Si  15.92128 258.01407   0.30560
Si  10.44309 254.64415   2.24152
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Si  13.79023 254.83248   0.31879
Si  15.89788 255.71778   0.43378
Si  10.32290 271.20337   2.24389
Si  11.44400 270.45924   0.32055
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Si  14.80831 270.59718   2.24389
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Si  10.44309 273.48885   2.24152
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Si  13.79023 273.67718   0.31879
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Si  10.32290 290.04807   2.24389
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Si  11.49753 286.94433   0.31989
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Si  15.98737 286.35748   0.34159
Si  10.44309 282.91120   2.24152
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Si  13.79023 283.09953   0.31879
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Si  22.73170 105.06114   0.48068
Si  17.15555 120.59502   2.13197
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Si  49.46516 549.16499   0.24396
Si  43.33410 564.31733   2.23224
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Si  51.95939 185.03878   0.14378
Si  55.36437 185.14948   2.03908
Si  53.14711 184.28117   2.06305
Si  56.43471 184.35154   0.07811
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Si  54.30456 348.64805   0.40189
Si  55.43347 347.86135   2.25760
Si  52.00417 345.36180   0.29384
Si  55.35488 345.49070   2.32404
Si  53.11049 344.64107   2.30499
Si  56.52588 344.71575   0.33597
Si  50.85654 341.42584   2.33458
Si  53.02951 342.21651   2.28261
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Si  56.32786 342.32831   0.29733
Si  50.85389 357.90905   1.86779
Si  52.13625 357.18369   3.84285
Si  54.31285 357.96839   0.08820
Si  55.41899 357.30684   2.03106
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Si  55.36388 354.90530   1.99970
Si  53.13245 353.95811   1.97565
Si  56.51429 354.23786   0.09333
Si  50.70636 350.73743   2.12551
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Si  54.19838 350.98808   0.12310
Si  56.39668 351.90757   3.82826
Si  50.77423 367.32703   1.92524
Si  51.90363 366.59609   0.06805
Si  54.16587 367.44629   0.15782
Si  55.24402 366.71842   2.10990
Si  51.97604 364.18363   3.81287
Si  55.16220 364.36381   2.08474
Si  53.01484 363.54431   1.89652
Si  56.32197 363.68905   0.17334
Si  50.76006 360.31851   1.85611
Si  52.91494 361.19866   1.97399
Si  54.07976 360.43677   0.02029
Si  56.26096 361.31939   0.03196
Si  50.73387 376.54021   2.14197
Si  52.02570 376.04159   0.26744
Si  54.15432 376.80110   0.30399
Si  55.28032 375.99742   2.23273
Si  51.69746 373.61928   0.27593
Si  55.21010 373.58754   2.27865
Si  52.91581 373.06883   2.21874
Si  56.43978 372.94229   0.32881
Si  50.66359 369.71936   2.14710
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Si  54.05335 369.73933   0.18098
Si  56.24401 370.57600   0.24572
Si  50.60961 385.97959   2.08880
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Si  64.23958 370.22626   2.20665
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Si 110.19190  99.36472   0.48005
Si 104.70772 114.76369   2.13978
Si 105.82100 114.01116   0.22833
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Si 106.87643 110.86601   2.20244
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Si 104.67523 107.74543   2.29845
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Si 103.63190 267.68472   2.33740
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Si 108.16463 291.05754   2.25795
Si 106.08659 290.10118   2.29420
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Si 103.65554 286.94615   2.31805
Si 105.90006 287.69384   2.24851
Si 107.01610 287.10073   0.33959
Si 109.11568 288.06862   0.28765
Si 104.12993 303.57704   2.51750
Si 105.27666 302.86960   0.50988
Si 107.43889 303.71210   0.48724
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Si 115.73715 121.51299   2.14725
Si 113.53068 120.68330   2.22743
Si 116.87098 120.96760   0.27839
Si 111.16315 117.54130   2.08453
Si 113.33893 118.33702   2.10214
Si 114.45824 117.56535   0.13819
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Si 111.24583 133.91725   2.22971
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Si 114.66885 134.14486   0.31726
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Si 112.33644 130.93907   0.43498
Si 115.76656 131.10255   2.22423
Si 113.49751 130.15398   2.35599
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Si 111.17248 126.94181   2.13293
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Si 111.78688 310.24639   0.51814
Si 115.35233 310.50653   2.37319
Si 113.05910 309.64091   2.42500
Si 116.53677 309.76324   0.45224
Si 110.91566 306.26701   2.43675
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Si 114.20170 306.51619   0.45778
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Si 123.40991 128.28654   0.15813
Si 117.88304 143.76058   2.18310
Si 119.14181 143.06201   0.18317
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Si 122.25359 319.99869   2.28108
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Si 121.13762 316.11782   0.15237
Si 123.35325 317.00139   0.16121
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Si 119.25636 331.61230   0.60127
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Si 129.21336 150.38230   2.52554
Si 126.99784 149.45536   2.44031
Si 130.30654 149.69539   0.63227
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Si 128.24088 342.25364   0.44696
Si 129.33521 341.38775   2.33305
Si 125.77758 339.04563   0.52437
Si 129.21043 339.11162   2.56454
Si 126.99469 338.34050   2.49215
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Si 124.69948 335.04359   2.50121
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Si 128.13214 335.17986   0.59685
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Si 136.95863 157.00097   0.41588
Si 131.60243 172.59908   2.43345
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Si 131.50060 372.75129   2.40373
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Si 149.61193  68.83521   2.21003
Si 146.13972  66.40479   0.51869
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Si 149.51011 226.18881   2.09696
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Si 149.55452 254.24442   2.17557
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Si 155.18188  81.66014   0.23867
Si 157.36647  82.64847   0.20144
Si 151.85219  97.91071   2.01904
Si 152.97452  97.21465   0.00338
Si 155.12154  98.12427   0.20495
Si 156.30183  97.39797   2.16287
Si 152.80453  94.83926   0.03032
Si 156.18887  95.06898   2.01982
Si 153.98726  94.16221   1.92841
Si 157.40061  94.39137   0.13819
Si 151.66690  90.92651   1.98771
Si 153.84999  91.81545   1.88587
Si 155.05202  91.16565   3.79588
Si 157.21697  92.00989   0.15129
Si 151.69397 107.38878   2.30961
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Si 152.87646 144.43128   0.53163
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Si 152.85435 142.07199   0.51073
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Si 153.96345 141.20965   2.41677
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Si 155.11938 220.31451   0.18532
Si 156.23880 219.61907   2.06284
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Si 151.62852 241.10952   2.06152
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Si 151.81716 257.65163   2.18297
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Si 156.28358 254.69309   2.14773
Si 154.11306 253.72382   2.08256
Si 157.50432 253.99510   0.16383
Si 151.64757 250.37413   2.10098
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Si 157.70013 273.85644   1.93384
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Si 152.98421 269.52724   2.08161
Si 155.16835 270.46980   2.02818
Si 156.25031 269.72031   0.11899
Si 158.47677 270.68020   3.81808
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Si 155.41415 285.80861   0.26491
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Si 155.20581 283.47127   0.10018
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Si 163.04484 104.67869   2.26433
Si 160.79378 103.82822   2.41891
Si 164.15890 103.84831   0.32400
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Si 170.79572 111.39962   0.14341
Si 165.15927 126.75938   2.08581
Si 166.42099 126.19974   0.21121
Si 168.59805 126.89673   0.08216
Si 169.73334 126.32147   2.04018
Si 166.31904 123.85886   0.10334
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Si 165.10132 119.79137   1.89373
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Si 170.64053 120.73861   0.13465
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Si 168.81764 282.98789   1.98193
Si 172.01360 283.03396   0.10140
Si 166.54161 279.66789   2.07966
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Si 166.76148 296.70453   1.93249
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Si 170.79957 303.10330   1.92520
Si 168.47495 302.32960   1.92301
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Si 166.53703 299.03680   1.80875
Si 168.65288 300.02011   1.89448
Si 169.73300 299.12987   3.80441
Si 171.87845 300.10868   0.06024
Si 165.60462 315.54728   1.98397
Si 166.85215 314.82245   0.05236
Si 169.01963 315.62576   3.83849
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Si 166.76060 312.46963   0.13449
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Si 176.30187 133.61275   2.31009
Si 174.11784 132.78860   2.18935
Si 177.48497 133.01539   0.36894
Si 171.82514 129.50355   2.28283
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Si 175.24717 129.78261   0.18150
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Si 171.87022 145.86642   2.33543
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Si 176.34803 143.10006   2.39071
Si 174.19983 142.10314   2.22230
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Si 172.19036 318.05350   1.97975
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Si 183.56908 313.11422   2.08870
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Si 184.69228 312.41039   0.13919
Si 179.25861 308.97927   2.04712
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Si  13.79023 150.58266   0.31879
Si  16.03372 151.46879   0.39411
Si  10.32290 166.93622   2.24389
Si  11.44400 166.19769   0.32055
Si  13.68721 167.09097   0.32055
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Si  11.49753 163.83835   0.31989
Si  14.85073 163.99620   2.24306
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Si  16.03337 163.35834   0.37350
Si  10.44309 159.79994   2.24152
Si  12.66408 160.73551   2.24220
Si  13.79023 160.00501   0.31879
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Si  11.44400 175.62004   0.32055
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Si  14.80831 175.77479   2.24389
Si  11.49753 173.26070   0.31989
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Si  10.44309 169.22229   2.24152
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Si  11.49753 182.68305   0.31989
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Si  16.03845 182.15696   0.41302
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Si  16.07108 201.01934   0.36572
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Si  13.79023 197.69441   0.31879
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Si  11.44400 213.30944   0.32055
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Si  14.80831 213.46419   2.24389
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Si  11.49753 239.21715   0.31989
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Si  10.44309 254.02344   2.24152
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Si  10.44309 272.86814   2.24152
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Si  13.79023 273.07321   0.31879
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Si  11.44400 288.68824   0.32055
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Si  11.49753 286.32890   0.31989
Si  14.85073 286.48675   2.24306
Si  12.61661 285.58458   2.24312
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Si  10.44309 282.29049   2.24152
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Si  10.44309 291.71284   2.24152
Si  12.66408 292.64841   2.24220
Si  13.79023 291.91791   0.31879
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Si  10.32290 308.27147   2.24389
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Si  10.44309 301.13519   2.24152
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Si  16.00701 314.04384   0.31283
Si  10.44309 310.55754   2.24152
Si  12.66408 311.49311   2.24220
Si  13.79023 310.76261   0.31879
Si  16.03744 311.60365   0.43260
Si  10.32290 327.11617   2.24389
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Si  13.68721 327.27092   0.32055
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Si  11.49753 324.01830   0.31989
Si  14.85073 324.17615   2.24306
Si  12.61661 323.27398   2.24312
Si  16.11328 323.39082   0.36673
Si  10.44309 319.97989   2.24152
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Si  13.79023 320.18496   0.31879
Si  16.03095 321.05856   0.43165
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Si  10.44309 329.40224   2.24152
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Si  13.79023 329.60731   0.31879
Si  15.95777 330.47097   0.43186
Si  10.32290 345.96087   2.24389
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Si  11.49753 342.86300   0.31989
Si  14.85073 343.02085   2.24306
Si  12.61661 342.11868   2.24312
Si  16.12830 342.36666   0.23759
Si  10.44309 338.82459   2.24152
Si  12.66408 339.76016   2.24220
Si  13.79023 339.02966   0.31879
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Si  10.32290 355.38322   2.24389
Si  11.44400 354.64469   0.32055
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Si  14.85073 550.31255   2.24306
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Si  10.44309 546.11629   2.24152
Si  12.66408 547.05186   2.24220
Si  13.79023 546.32136   0.31879
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Si  11.44400 561.93639   0.32055
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Si  14.80831 562.09114   2.24389
Si  11.49753 559.57705   0.31989
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Si  10.44309 555.53864   2.24152
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Si  56.38286 238.21353   0.64789
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Si  52.93229 409.95827   2.11624
Si  56.33574 410.06985   0.19289
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Si  52.94339 426.44305   2.16831
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Si  54.97929 439.23575   2.22995
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Si  74.38965  87.23972   0.26346
Si  76.66271  88.16083   0.22502
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Si 109.32088 170.60415   2.43667
Si 105.69175 168.08720   0.47603
Si 109.18091 168.30147   2.37035
Si 106.89169 167.38787   2.45217
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Si 108.01889 343.30386   0.61233
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Si 107.16779 355.84135   2.30298
Si 110.49183 356.00385   0.41543
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Si 105.28346 554.44250   0.44295
Si 108.75179 554.65644   2.33984
Si 106.55620 553.75305   2.33666
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Si 108.60343 566.38201   2.37828
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Si 113.62721 174.74452   2.48121
Si 114.79439 174.04116   0.49979
Si 117.03670 174.97722   0.54274
Si 111.34760 190.44637   2.56543
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Si 115.58902 310.38355   2.42576
Si 113.39155 309.38056   2.39899
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Si 110.82320 306.19687   2.56416
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Si 111.26721 322.56782   2.46429
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Si 116.85210 337.62758   0.69175
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Si 111.45225 350.48901   2.63219
Si 112.65910 349.95718   0.68666
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Si 115.83482 347.82488   2.55602
Si 113.58403 346.93084   2.66610
Si 116.96393 347.03542   0.65221
Si 111.27316 343.56076   2.72757
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Si 111.48721 369.32312   2.49401
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Si 115.89862 368.83476   2.56874
Si 112.49217 366.29578   0.51002
Si 115.80532 366.51063   2.45611
Si 113.71205 365.52331   2.42687
Si 116.95523 365.81474   0.46376
Si 111.43562 362.28397   2.52491
Si 113.65171 363.18251   2.45199
Si 114.84203 362.53752   0.53343
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Si 111.22041 378.71714   2.15938
Si 112.42271 378.00757   0.22659
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Si 115.78081 378.18826   2.31715
Si 112.42555 375.52514   0.40018
Si 115.73986 375.81021   2.34184
Si 113.54184 374.90039   2.27610
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Si 122.59556 357.37995   2.33321
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Si 121.52316 353.43966   0.37960
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Si 119.13359 387.86133   0.53460
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Si 122.61099 388.00222   2.41029
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Si 123.60829 384.87689   0.56855
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Si 126.16361  18.43699   0.33304
Si 129.63503  18.55050   2.36377
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Si 141.76814  78.80121   0.51495
Si 142.83830  77.95354   2.38404
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Si 144.95396 118.98006   2.37331
Si 147.12152 119.91912   2.33492
Si 148.29365 119.06207   0.39406
Si 150.48737 119.98404   0.39957
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Si 145.81230 305.27937   2.00556
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Si 147.82821 302.35271   0.17839
Si 151.01693 302.65518   2.04212
Si 148.92305 301.56346   2.06448
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Si 147.40026 297.90044   2.32995
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Si 144.99226 317.04317   2.13901
Si 147.20219 318.09665   2.24418
Si 148.37898 317.28010   0.30734
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Si 145.00977 333.68502   2.31820
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Si 149.46671 330.71926   2.16286
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Si 156.30654 154.04651   2.14226
Si 152.80406 151.59955   0.25420
Si 156.15703 151.69904   2.31555
Si 153.90918 150.88638   2.16496
Si 157.26758 150.85223   0.44107
Si 151.65876 147.63640   2.30761
Si 153.80327 148.60652   2.20099
Si 154.99546 147.88173   0.37758
Si 157.25970 148.52322   0.38333
Si 151.59674 164.21229   2.29456
Si 152.77936 163.42258   0.41394
Si 155.02209 164.25201   0.31969
Si 156.13282 163.50786   2.28225
Si 152.73919 161.09697   0.40907
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Si 155.26750 270.74759   1.90833
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Si 158.47919 270.70932   3.83211
Si 154.51548 286.79076   1.99069
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Si 154.10635 279.60957   2.02618
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Si 156.55340 312.24559   2.12298
Si 154.40019 311.23718   2.01065
Si 157.84820 311.55453   0.16607
Si 152.37143 308.00053   2.00088
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Si 158.02239 309.17563   0.09466
Si 151.89358 324.57897   2.30490
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Si 155.13714 324.73611   0.26368
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Si 156.26087 321.56915   2.09257
Si 154.11495 320.68020   2.26167
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Si 155.16738 327.01632   0.45209
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Si 153.12204 342.55451   0.36442
Si 155.29577 343.42098   0.46685
Si 156.37547 342.57045   2.34393
Si 152.96402 340.18869   0.34006
Si 156.35029 340.23846   2.22799
Si 154.19847 339.36524   2.24723
Si 157.54708 339.55248   0.27404
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Si 154.05822 337.07471   2.35777
Si 155.16547 336.37886   0.42131
Si 157.27981 337.21070   0.35655
Si 151.90906 352.43254   2.39168
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Si 154.14502 346.43256   2.35679
Si 155.27326 345.67558   0.44627
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Si 151.66689 512.89284   1.90433
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Si 152.61520 509.73200   3.83987
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Si 161.72005 157.40526   0.30134
Si 163.99853 158.28465   0.25446
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Si 158.60417 317.87494   2.31871
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Si 162.11836 318.04623   0.20995
Si 164.28434 319.02830   0.19409
Si 158.51466 334.19415   2.40643
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Si 162.96820 331.29303   2.11592
Si 160.78395 330.43811   2.13113
Si 164.10010 330.55796   0.20235
Si 158.64110 327.18581   2.17797
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Si 158.66536 345.80167   2.19531
Si 161.01690 346.50312   2.28729
Si 162.09343 345.86522   0.37674
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Si 166.28680 180.50177   0.56884
Si 169.63978 180.70445   2.50710
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Si 168.81405 336.81566   0.53536
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Si 165.30285 352.97960   2.25292
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Si 168.69448 353.20557   0.37048
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Si 169.53496 371.11535   1.97460
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Si 169.64205 368.83293   1.96908
Si 167.45104 367.89387   2.00109
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Si 175.10772 186.35216   0.40836
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Si 175.14325 374.43133   0.35103
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Si  13.79023  18.06579   0.31879
Si  15.94160  18.90478   0.42669
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Si  14.80831 222.28766   2.24389
Si  11.49753 219.75701   0.31989
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Si  11.49753 229.17936   0.31989
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Si  14.85073 380.11158   2.24306
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Si  53.08409 105.56567   2.31703
Si  54.23327 104.72346   0.40315
Si  56.42411 105.80105   0.34276
Si  50.68732 121.17478   2.22770
Si  51.83639 120.39732   0.36907
Si  54.07824 121.28197   0.36872
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Si  51.90310 118.05007   0.31318
Si  55.26212 118.21326   2.22520
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Si  56.39864 117.51915   0.36125
Si  50.99255 114.14129   2.41452
Si  53.18798 115.01571   2.33304
Si  54.30542 114.26004   0.35009
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Si  50.58009 130.70758   2.38159
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Si  51.85413 127.60757   0.51114
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Si  56.39462 127.05602   0.32902
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Si  50.85523 236.80571   2.50526
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Si  55.26652 280.88777   2.18526
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Si  55.30334 278.51322   2.24630
Si  53.03425 277.68162   2.15819
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Si  50.90274 283.86517   2.34313
Si  53.10807 284.91419   2.31297
Si  54.15627 284.01872   0.40116
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Si  52.04954 297.31188   0.73606
Si  55.32383 297.41212   2.42930
Si  53.20686 296.53309   2.66256
Si  56.61692 296.68308   0.57156
Si  51.04726 293.41778   2.25227
Si  53.23979 294.33331   2.52086
Si  54.36745 293.61553   0.58318
Si  56.66709 294.33958   0.54364
Si  50.78114 309.85326   2.43105
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Si  54.12077 310.09170   0.48868
Si  55.27436 309.20955   2.48728
Si  51.85902 306.68040   0.48710
Si  55.17081 306.86099   2.47214
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Si  56.37141 306.18103   0.56512
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Si  50.79342 491.21949   2.33979
Si  52.94813 492.10253   2.32556
Si  54.15434 491.38543   0.33382
Si  56.40004 492.29631   0.12943
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Si  57.53121 102.65005   2.39643
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Si  61.99634 101.98575   2.42371
Si  58.68939  99.50043   0.55571
Si  62.04066  99.60392   2.43540
Si  59.89077  98.75937   2.48683
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Si  63.17971 117.88219   0.60348
Si  57.61938 114.36192   2.37879
Si  59.81227 115.31222   2.35203
Si  60.95984 114.65869   0.43054
Si  63.19393 115.50451   0.54979
Si  57.39203 130.98177   2.15066
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Si  58.62132 127.83653   0.23692
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Si  67.61117 133.90812   0.29920
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Si  64.54423 322.23160   2.32822
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Si  65.49703 335.85015   0.64061
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Si  67.68203 520.28644   0.09573
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Si  75.43146 159.46579   2.16185
Si  72.18627 156.95280   0.19839
Si  75.45620 157.11282   2.22253
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Si 109.01843  38.59418   2.18740
Si 105.78758  36.02912   0.45445
Si 109.01068  36.28093   2.31264
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Si 109.00125 424.85356   2.10182
Si 105.66163 422.41549   0.16314
Si 108.96921 422.55582   2.17855
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Si 112.78208  17.80992   0.32104
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Si 113.91921  17.11225   2.17464
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Si 111.81233  13.79278   2.31205
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Si 111.20206  49.04933   2.33176
Si 112.26137  48.35265   0.39921
Si 114.51128  49.27421   0.50116
Si 115.74269  48.57002   2.32073
Si 112.35133  46.02988   0.31502
Si 115.67568  46.22559   2.25628
Si 113.55005  45.32236   2.15170
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Si 111.39664  42.06147   2.14265
Si 113.53307  43.01073   2.10709
Si 114.79265  42.30172   0.14180
Si 117.06932  43.06928   0.20587
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Si 115.44754 245.53267   2.09196
Si 112.16950 243.10846   0.23131
Si 115.61310 243.26259   1.99625
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Si 122.44686 453.81231   2.19593
Si 119.13844 451.33946   0.13128
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Si 135.99534  96.60276   2.07092
Si 132.64575  93.98608   0.03692
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Si 131.37165 313.96077   2.10579
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Si 143.78141 131.55400   0.41735
Si 138.22015 128.03796   1.94664
Si 140.39518 128.96434   2.24851
Si 141.61008 128.23122   0.33014
Si 143.83941 129.17493   0.43664
Si 138.09351 144.77375   2.23908
Si 139.27422 143.92350   0.28641
Si 141.50895 144.89397   0.40394
Si 142.68291 144.06562   2.32964
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Si 140.52260 140.75425   2.18417
Si 143.89071 141.00874   0.27283
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Si 141.56197 137.73583   0.39241
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Si 138.42133 326.19785   2.09038
Si 140.65585 327.10515   2.37718
Si 141.65712 326.31166   0.41651
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Si 139.32179 342.02129   0.47461
Si 141.61954 342.88422   0.38632
Si 142.76776 342.06322   2.26746
Si 139.37905 339.60414   0.40295
Si 142.77138 339.71985   2.29857
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Si 138.28716 335.54729   2.40198
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Si 138.32282 344.98119   2.27262
Si 140.56629 345.95829   2.25947
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Si 141.54164 361.61574   0.49036
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Si 139.25484 358.39475   0.40341
Si 142.59343 358.37158   2.31403
Si 140.47566 357.61357   2.33657
Si 143.80136 357.74583   0.39343
Si 138.41454 354.42345   2.38915
Si 140.60727 355.31379   2.39912
Si 141.69690 354.51404   0.42423
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Si 138.06653 370.54279   2.46347
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Si 145.26994 175.45422   2.33162
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Si 144.81190 370.92737   2.31151
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Si 148.18276 389.73176   0.41365
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Si 146.03220 386.56964   0.45584
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Si 144.90322 382.57002   2.43549
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Si 152.59918   6.60413   2.26007
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Si 155.19651  23.28361   0.39958
Si 156.35971  22.48888   2.30156
Si 153.14275  20.00023   0.29103
Si 156.36221  20.24758   2.24501
Si 154.28973  19.22827   2.27879
Si 157.48897  19.37142   0.32634
Si 152.08877  15.80251   2.23385
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Si 155.29101  15.96641   0.31765
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Si 154.78098  32.47445   0.32312
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Si 152.73549  29.18899   0.44133
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Si 153.97907  28.58301   2.34388
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Si 151.90400  25.42939   2.15045
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Si 157.41963  47.49277   0.19885
Si 151.71952  44.04303   2.24706
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Si 157.30401  54.52894   0.12291
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Si 154.10471  66.18917   2.09880
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Si 154.04465 141.40002   2.18931
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Si 151.83047 138.20899   2.17832
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Si 152.86193 179.96812   0.61789
Si 156.06085 180.04582   2.51929
Si 153.91725 179.20821   2.52384
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Si 155.10308 176.04133   0.47687
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Si 152.84793 207.70556   0.40499
Si 156.20915 207.97798   2.28947
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Si 151.81019 203.83840   2.36033
Si 154.09223 204.83850   2.32066
Si 155.20809 204.08649   0.38961
Si 157.41954 205.03054   0.32540
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Si 156.08254 379.94357   2.05904
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Si 156.11762 377.61057   2.13120
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Si 155.01254 392.68915   0.17443
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Si 155.92469 408.36999   2.23547
Si 152.60441 405.76645   0.30518
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Si 153.34884 562.96151   2.08369
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Si 158.63847  25.71747   2.15266
Si 160.81768  26.58318   2.25097
Si 161.91330  25.85525   0.37256
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Si 159.45866 198.91829   0.32058
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Si 161.48433 411.83113   0.27542
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Si 166.38359  20.66302   0.32151
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Si 165.18483  35.30879   2.23857
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Si  13.68721  90.50320   0.32055
Si  14.80831  89.77588   2.24389
Si  11.49753  87.22868   0.31989
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Si  10.44309  83.17973   2.24152
Si  12.66408  84.13751   2.24220
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Si  10.32290  99.73715   2.24389
Si  11.44400  99.00983   0.32055
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Si  14.85073  96.84241   2.24306
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Si  13.79023 243.59822   0.31879
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Si  54.05254 177.50879   0.15069
Si  55.23234 176.70536   2.10531
Si  51.90146 174.24111   0.26140
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Si  50.73542 330.56017   2.53186
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Si  54.12604 330.63224   0.56996
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Si  56.57693 352.89839   0.55709
Si  50.94808 349.29769   2.08071
Si  53.16786 350.28046   2.23899
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Si  51.88378 365.14737   0.07530
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Si  51.84424 362.69817   0.32848
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Si  50.67166 358.68997   2.26980
Si  52.96254 359.64429   2.24838
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Si  57.46369 179.92155   2.22947
Si  59.70692 181.01597   2.28227
Si  60.82278 180.21088   0.37058
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Si  58.68133 353.87058   0.51178
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Si  64.38858 359.63911   2.19177
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Si  65.36235 391.88793   0.16588
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Si 116.88462 101.68987   0.49159
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Si 112.65171 114.06404   0.18390
Si 114.83588 115.03312   0.14150
Si 116.01626 114.32419   2.00692
Si 112.65552 111.70325   0.43872
Si 115.90468 111.94719   2.11126
Si 113.81431 111.01902   2.36780
Si 116.98337 111.21035   0.24561
Si 111.34726 107.76467   2.26750
Si 113.55855 108.68055   2.24216
Si 114.66704 107.87598   0.36087
Si 117.03634 108.83313   0.50884
Si 111.40576 124.14400   2.11044
Si 112.53803 123.48180   0.21689
Si 114.70764 124.51424   0.16778
Si 115.94224 123.76460   2.03776
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Si 115.91887 121.37450   2.19411
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Si 114.59240 229.96815   0.44816
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Si 111.80343 268.34484   1.98181
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Si 109.75705 286.70716   2.19881
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Si 111.90440 302.75867   0.55975
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Si 116.07395 299.72826   0.33122
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Si 112.63110 297.30615   2.29807
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Si 112.34057 469.79319   3.83022
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Si 114.48257 501.32913   0.22837
Si 115.73583 500.67960   2.12887
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Si 123.74007 120.97262   0.27497
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Si 120.39082 118.43257   2.18175
Si 121.48715 117.66983   0.21439
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Si 123.41667 309.56794   0.53909
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Si 128.06240 144.12907   0.43537
Si 129.33953 143.35653   2.32939
Si 125.81457 140.76828   0.56950
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Si 124.65942 136.82706   2.46726
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Si 124.82912 316.05028   2.48829
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Si 130.48842 316.86487   0.32353
Si 124.77241 332.44157   2.27012
Si 125.87532 331.68510   0.38321
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Si 129.36646 331.82733   2.18083
Si 125.97653 329.28276   0.40379
Si 129.23981 329.33983   2.23439
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Si 131.43076 146.59375   2.27151
Si 133.64383 147.60782   2.35119
Si 134.93138 146.96254   0.38846
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Si 133.76744 366.66540   2.31949
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Si 138.23067 200.69210   2.28350
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Si 140.31905 383.31928   2.20037
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Si 142.64779 395.87578   2.25187
Si 140.37306 394.98851   2.31189
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Si 138.08272 391.63421   2.30443
Si 140.27140 392.62686   2.37083
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Si 142.36492 414.86985   2.30377
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Si 140.12102 411.60648   2.28936
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Si 142.42405 424.29912   2.23859
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Si 150.51926 244.58217   0.20225
Si 144.87399 240.95967   2.21379
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Si 149.56175 455.32469   1.98149
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Si 157.23945 277.36546   0.04737
Si 158.32347 276.62093   1.94713
Si 154.81745 274.00741   0.05986
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Si 151.69084 458.59763   2.00032
Si 153.93993 459.46941   1.97932
Si 154.99735 458.65690   0.03805
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Si 164.91901 284.23189   1.97608
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Si 170.87529 104.96497   0.12178
Si 165.26669 101.41694   1.87544
Si 167.45118 102.44390   1.93566
Si 168.62728 101.62607   0.02276
Si 170.94636 102.56451   3.84563
Si 165.12101 117.79004   2.19865
Si 166.34216 117.13145   0.23389
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Si 169.75781 117.41534   2.15735
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Si 169.66847 115.07866   2.11383
Si 167.53044 114.18890   2.25088
Si 170.90103 114.35877   0.11074
Si 165.23341 110.91075   2.17621
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Si 170.85006 111.94501   0.15734
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Si 167.48624 123.57327   2.25270
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Si 170.12084 278.14500   3.76100
Si 171.15155 277.33156   1.87138
Si 167.79797 274.72594   3.71646
Si 170.94889 274.93520   1.95538
Si 168.78553 273.83811   1.80261
Si 171.99315 274.10852   3.84153
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Si 168.53487 271.51621   1.91289
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Si 171.84719 271.70845   3.76811
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Si 171.61667 286.97605   2.25350
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Si 172.58571 283.88874   0.33149
Si 166.98824 280.34323   1.81378
Si 169.12227 281.38413   2.04866
Si 170.17782 280.49356   0.09449
Si 172.25841 281.58391   0.25638
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Si 171.27723 296.80010   2.20952
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Si 171.33728 294.29231   2.21001
Si 169.29486 293.31115   2.06973
Si 172.51696 293.55801   0.32163
Si 167.25333 289.88709   2.08599
Si 169.30517 290.95471   2.18625
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Si 172.46799 291.20718   0.16789
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Si 167.61104 306.14001   0.32237
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Si 176.41372 127.34969   2.18750
Si 172.89931 124.68707   0.32851
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Si  16.03101 142.64999   0.28051
Si  10.44309 139.09312   2.24152
Si  12.66408 140.06200   2.24220
Si  13.79023 139.34840   0.31879
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Si  13.68721 155.85516   0.32055
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Si  14.85073 152.77784   2.24306
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Si  16.00662 152.03677   0.25727
Si  10.44309 148.51547   2.24152
Si  12.66408 149.48435   2.24220
Si  13.79023 148.77075   0.31879
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Si  10.32290 165.07229   2.24389
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Si  11.49753 190.25909   0.31989
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Si  13.79023 261.83895   0.31879
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Si  10.44309 299.27307   2.24152
Si  12.66408 300.24195   2.24220
Si  13.79023 299.52835   0.31879
Si  15.94132 300.59882   0.18402
Si  10.32290 315.82989   2.24389
Si  11.44400 315.10818   0.32055
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Si  15.97516 321.64591   0.26754
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Si  12.61661 330.86681   2.24312
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Si  10.44309 327.54012   2.24152
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Si  15.84454 538.31202   0.29555
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Si  52.04088  44.08426   0.41195
Si  54.18620  45.05073   0.52868
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Si  56.21406 201.78076   0.51887
Si  50.67491 198.26580   2.22968
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Si  56.41706 229.88171   0.42355
Si  50.70823 226.41262   2.24141
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Si  50.70631 386.74066   2.11318
Si  52.81941 387.67756   2.16974
Si  53.96701 386.88271   0.30464
Si  56.23287 387.86346   0.16306
Si  50.65842 403.21902   1.92060
Si  51.75198 402.48146   3.79997
Si  53.91163 403.41542   0.09253
Si  55.07946 402.72906   2.03323
Si  51.67999 400.08414   3.72720
Si  55.09582 400.31028   1.94526
Si  52.76945 399.39468   1.80356
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Si  50.67170 396.00285   1.97657
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Si  56.11806 409.04138   0.31209
Si  50.62605 405.52202   2.01434
Si  52.89339 406.41146   2.02941
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Si  51.73875 421.38288   0.19076
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Si  51.69371 418.91546   0.37658
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Si  52.89349 418.24119   2.21198
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Si  50.61959 414.98162   2.13403
Si  52.77610 415.80048   2.20596
Si  53.91247 415.10322   0.29746
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Si  50.92546 431.54828   2.10878
Si  51.95019 430.65022   0.17124
Si  54.18432 431.48386   0.30987
Si  55.24838 430.67603   2.23296
Si  51.77526 428.33362   0.18055
Si  55.20127 428.34756   2.20178
Si  52.92405 427.57995   2.15850
Si  56.29223 427.82422   0.28048
Si  50.47678 424.38939   2.04759
Si  52.72987 425.21072   2.22925
Si  53.89716 424.48098   0.30967
Si  56.18486 425.36249   0.22727
Si  50.79164 440.97314   2.13970
Si  51.81471 440.13326   0.28684
Si  54.06775 441.04035   0.34536
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Si  51.78339 437.76561   0.21705
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Si  52.93065 437.08252   2.15659
Si  56.33220 437.10528   0.21376
Si  50.76078 433.90964   2.21233
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Si  54.17616 433.81323   0.21313
Si  56.39546 434.76695   0.07301
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Si  55.37463 449.81564   2.30911
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Si  56.33085 446.75601   0.28416
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Si  53.99965 443.36710   0.24097
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Si  55.27282 459.22832   2.23121
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Si  55.27333 456.83478   2.40354
Si  53.07194 456.00017   2.35282
Si  56.44316 456.16151   0.47962
Si  50.73627 452.60071   2.24396
Si  53.01381 453.55085   2.31412
Si  54.13573 452.82887   0.43505
Si  56.31642 453.75831   0.47314
Si  50.80251 469.08785   2.10970
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Si  52.84696 463.01215   2.24771
Si  53.93843 462.25765   0.30792
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Si  50.73506 478.40000   2.27652
Si  51.92628 477.88364   0.35855
Si  54.18656 478.81554   0.26513
Si  55.26768 477.94484   2.18411
Si  51.90732 475.41015   0.31025
Si  55.27031 475.56540   2.28571
Si  52.87168 474.66040   2.21703
Si  56.40336 474.91708   0.37913
Si  50.74734 471.33643   2.08267
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Si  56.29655 503.19103   0.35321
Si  50.69069 499.70301   2.12656
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Si  54.94991 541.76049   2.25578
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Si  50.56738 537.47887   2.39804
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Si  49.93953 553.92976   2.08939
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Si  50.35784 546.77265   2.27398
Si  52.39035 547.77073   2.15352
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Si  49.37917 563.07569   2.20797
Si  50.43388 562.68195   0.29100
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Si  53.87632 562.98365   2.19816
Si  50.58201 560.28602   0.11285
Si  53.96373 560.62081   2.18878
Si  51.73326 559.57738   2.02167
Si  55.15282 559.93097   0.25374
Si  49.96382 556.27304   1.98663
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Si  58.29151   7.75205   2.31001
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Si  58.77007   0.74676   2.22705
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Si  57.83114  17.09595   2.29312
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Si  62.33269  16.51597   2.30486
Si  59.12068  14.06442   0.32758
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Si  60.26537  13.39132   2.29485
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Si  58.13609   9.95081   2.24448
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Si  61.50042  10.22936   0.53141
Si  63.74159  11.07754   0.41165
Si  57.56815  26.43794   2.15563
Si  58.68445  25.72128   0.19242
Si  60.93587  26.54729   0.41156
Si  62.19687  25.98314   2.31163
Si  58.69889  23.27778   0.16474
Si  62.14007  23.47269   2.26816
Si  59.88803  22.60250   2.12937
Si  63.25315  22.86623   0.32755
Si  57.75617  19.38092   2.22029
Si  59.89871  20.30481   2.15236
Si  61.03751  19.57390   0.21054
Si  63.31578  20.56916   0.23292
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Si  58.59435  35.16455   0.53140
Si  60.83526  36.17227   0.57533
Si  61.99133  35.42817   2.42233
Si  58.57222  32.72948   0.49073
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Si  57.47332  28.74547   2.37979
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Si  57.46517  45.26701   2.25866
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Si  61.96945  44.71176   2.30780
Si  58.47421  42.20380   0.34901
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Si  59.64658  41.63653   2.22710
Si  63.01551  41.75007   0.04622
Si  57.47282  38.13727   2.43614
Si  59.58507  39.19065   2.25429
Si  60.65738  38.48920   0.35233
Si  62.94036  39.36444   0.28030
Si  57.73715  54.64297   2.21952
Si  58.87553  54.04590   0.27010
Si  61.17222  55.00639   0.26620
Si  62.28910  54.23522   2.26369
Si  58.73760  51.67019   0.33215
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Si  76.62960  80.08614   0.37325
Si  70.78040  76.66209   2.29920
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Si 105.74099 158.19445   0.30000
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Si 104.36847 314.74764   2.38114
Si 106.65196 315.69924   2.24475
Si 107.76014 314.89807   0.35808
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Si 110.22228 337.27809   0.67101
Si 104.61128 333.74568   2.54375
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Si 107.96515 333.88024   0.68338
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Si 104.56879 349.89922   2.33704
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Si 107.99295 350.20373   0.39958
Si 109.02173 349.42947   2.34199
Si 105.89450 346.86046   0.52369
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Si 107.05535 346.21305   2.45989
Si 110.36289 346.51011   0.56815
Si 104.71866 342.91665   2.45001
Si 106.88234 343.84050   2.44378
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Si 104.41864 547.72093   2.13475
Si 105.49582 547.00277   0.17483
Si 107.66921 548.01758   0.15798
Si 108.71815 547.27530   2.05641
Si 105.49873 544.68576   0.09988
Si 108.88930 544.98055   2.11850
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Si 104.41835 540.60139   2.07822
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Si 115.73503 142.36851   2.29925
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Si 116.98404 139.29686   0.38478
Si 111.15825 135.72752   2.35718
Si 113.50539 136.58359   2.30679
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Si 116.84680 158.24975   0.61065
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Si 115.82077 170.77448   2.52169
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Si 115.81279 168.40632   2.53552
Si 113.62682 167.49273   2.52140
Si 116.82217 167.64488   0.61143
Si 111.40507 163.97307   2.51031
Si 113.55536 165.06581   2.53990
Si 114.57393 164.26392   0.61864
Si 116.79175 165.25605   0.68783
Si 111.36580 180.51057   2.31643
Si 112.53952 179.86728   0.38610
Si 114.63985 180.86341   0.46138
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Si 112.47867 177.55851   0.47325
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Si 113.56585 176.79838   2.36447
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Si 111.20054 173.41765   2.45648
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Si 114.49162 173.71169   0.45150
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Si 113.44311 325.44966   2.45381
Si 114.53597 324.72528   0.50009
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Si 115.99960 340.56642   2.41604
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Si 111.41537 334.05741   2.61293
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Si 115.66011 356.93989   2.49039
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Si 111.24055 352.69469   2.28908
Si 113.39197 353.69685   2.43201
Si 114.52399 352.91120   0.53494
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Si 114.66838 369.42552   0.55892
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Si 113.17124 553.76894   2.32384
Si 116.48481 554.08433   0.14877
Si 110.97778 550.52358   2.10571
Si 113.15047 551.33734   2.03126
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Si 121.33568 190.50588   0.45785
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Si 121.54913 351.08453   0.36767
Si 122.67714 350.41486   2.34882
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Si 123.88849 347.46880   0.38447
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Si 130.25768 196.40303   0.40259
Si 124.65984 192.84958   2.30475
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Si 124.73178 353.63962   2.33148
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Si 146.03892 113.72929   0.34350
Si 149.40492 113.83745   2.25345
Si 147.19410 112.98381   2.26555
Si 150.51910 113.16630   0.32620
Si 144.98968 109.63635   2.23477
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Si 144.84243 231.69858   2.22550
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Si 149.31179 271.29504   1.86256
Si 150.07415 270.17106   3.76675
Si 152.29885 270.96585   3.83484
Si 151.48986 287.07207   0.05891
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Si 152.38489 284.01856   1.96118
Si 153.37810 283.15678   0.05740
Si 151.16790 279.73934   3.56458
Si 153.20206 280.74239   0.03416
Si 151.07517 296.66032   3.77638
Si 152.11829 295.83693   1.86280
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Si 150.22700 292.53145   1.63847
Si 153.33999 292.70826   3.76183
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Si 151.31232 289.33973   3.74973
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Si 147.26750 298.80221   1.73634
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Si 146.63041 313.95992   0.14908
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Si 146.60770 311.55767   0.12752
Si 150.03486 311.83630   2.10254
Si 147.87821 310.97398   2.08990
Si 151.30522 311.24703   0.18939
Si 145.47898 307.85391   2.02110
Si 147.74328 308.65544   2.03634
Si 149.10870 308.18185   0.14948
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Si 145.03897 324.06534   2.06496
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Si 148.51863 496.17915   0.16966
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Si 151.78503 145.46532   2.10221
Si 152.90132 144.81397   0.15964
Si 155.04118 145.80312   0.23630
Si 156.25368 145.08383   2.14178
Si 152.81134 142.46774   0.11681
Si 156.12168 142.75089   2.10386
Si 153.96967 141.73583   2.05278
Si 157.17549 142.03743   0.20617
Si 151.67061 138.30601   2.37839
Si 153.82182 139.31898   2.21981
Si 154.90180 138.63989   0.26974
Si 157.15304 139.57076   0.21860
Si 151.72922 154.82801   2.26457
Si 152.90371 154.25529   0.39586
Si 155.12314 155.15153   0.43206
Si 156.28839 154.37584   2.32343
Si 152.86078 151.86627   0.35390
Si 156.19110 151.93702   2.29012
Si 154.04419 151.10076   2.26319
Si 157.32853 151.32606   0.34267
Si 151.78420 147.81648   2.20224
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Si 155.01987 148.10142   0.18379
Si 157.31172 148.91576   0.32213
Si 151.84251 164.25911   2.36451
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Si 155.11282 164.56570   0.26477
Si 156.35226 163.86157   2.14999
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Si 151.79013 157.11621   2.41583
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Si 153.92900 169.95496   2.28577
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Si 153.92680 176.86378   2.57378
Si 155.10169 176.27323   0.62406
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Si 152.86184 189.22175   0.33915
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Si 154.10165 188.57326   2.29393
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Si 152.81391 219.47650   0.23999
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Si 156.19047 219.80673   2.15272
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Si 154.07895 254.39876   1.82627
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Si 151.82159 251.01025   2.09270
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Si 152.79155 267.67646   2.02337
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Si 153.49748 264.59809   0.08502
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Si 154.66889 263.82708   1.95454
Si 158.12203 263.93494   0.02814
Si 152.04832 260.60991   1.99594
Si 154.32586 261.45755   2.00068
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Si 157.70050 261.51465   3.80708
Si 154.19457 277.51836   1.79509
Si 155.20147 276.81217   3.73750
Si 157.40130 277.61734   0.01205
Si 158.40130 276.74895   1.91085
Si 154.86421 274.42835   3.72307
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Si 155.84631 273.49298   1.83953
Si 159.13746 273.58049   3.83640
Si 153.20063 270.03194   1.92682
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Si 154.61055 287.12795   1.96363
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Si 158.80122 286.55340   1.90243
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Si 156.52346 283.14669   1.98846
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Si 154.27566 279.92815   1.96805
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Si 157.40679 280.05409   3.82269
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Si 154.11751 296.90010   1.89707
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Si 156.54701 292.89631   2.03761
Si 159.69642 293.13689   0.11406
Si 154.48901 289.46672   1.88656
Si 156.65101 290.48641   1.97997
Si 157.66409 289.73153   0.02893
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Si 152.96425 305.94013   2.11009
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Si 156.38474 306.22762   0.24701
Si 157.59344 305.71923   2.19475
Si 154.47135 303.03820   0.11832
Si 157.86285 303.36324   2.26047
Si 155.66414 302.39506   2.10201
Si 159.02416 302.69584   0.36195
Si 153.73435 299.23883   2.02551
Si 155.94919 300.11776   2.06240
Si 157.05035 299.39125   0.17084
Si 159.25399 300.34625   0.33464
Si 152.05140 315.29433   2.03594
Si 153.26425 314.62325   0.10381
Si 155.54234 315.50482   0.15985
Si 156.77197 314.92766   2.07697
Si 153.43361 312.26988   0.18573
Si 156.87911 312.52251   1.93601
Si 154.55919 311.59413   2.11042
Si 158.02885 311.94005   0.01976
Si 152.60338 308.32102   2.20561
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Si 156.04180 308.60680   0.16468
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Si 151.99720 324.72020   2.04900
Si 153.10592 324.05400   0.12793
Si 155.36087 324.96367   0.15370
Si 156.43101 324.14147   2.05235
Si 153.05463 321.66045   3.72350
Si 156.35358 321.76689   1.93580
Si 154.14239 320.99483   1.82366
Si 157.53120 321.05718   0.02834
Si 151.94280 317.64368   1.88244
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Si 155.17963 317.86125   0.21040
Si 157.50510 318.68095   0.25003
Si 151.86724 334.06912   2.28599
Si 153.09306 333.34069   0.41210
Si 155.28926 334.26795   0.60777
Si 156.56411 333.58856   2.45634
Si 152.99929 330.95470   0.38061
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Si 154.15269 330.37724   2.41724
Si 157.53108 330.42063   0.37721
Si 151.92991 327.05153   2.28940
Si 154.14875 328.00130   2.33986
Si 155.23447 327.33278   0.36365
Si 157.52764 328.04090   0.26341
Si 151.82155 343.45425   2.55537
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Si 155.15502 343.60487   0.45561
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Si 151.63785 487.12544   1.88839
Si 153.83353 488.09536   1.86674
Si 155.05883 487.39411   3.79040
Si 157.21166 488.23286   3.78170
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Si 151.71753 496.54755   2.06323
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Si 153.95174 518.61895   2.20067
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Si 151.70824 515.13108   2.14093
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Si 151.81305 531.86131   2.20987
Si 152.87483 531.09977   0.24260
Si 155.14492 531.91588   0.22535
Si 156.36255 531.21689   2.15773
Si 152.82642 528.72325   0.24162
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Si 157.02912 525.87063   0.10152
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Si 164.15349 123.53051   0.25470
Si 158.49645 119.96556   2.20015
Si 160.75160 120.88868   2.21214
Si 161.84247 120.11125   0.32560
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Si 158.47995 155.40284   2.20463
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Si 159.49826 152.36068   0.22387
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Si 160.71809 151.76422   2.15643
Si 163.89338 151.90816   0.30426
Si 158.44586 148.29890   2.16501
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Si 159.45136 308.86039   2.18593
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Si 162.01764 325.32461   0.39863
Si 163.09329 324.57139   2.29431
Si 159.82082 321.85608   0.16624
Si 163.18923 322.17666   2.14758
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Si 158.79628 317.97419   2.20410
Si 161.03045 318.88834   2.14647
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Si 163.19068 341.04181   2.04652
Si 160.98087 340.24858   2.22183
Si 164.34483 340.39299   0.13720
Si 158.58046 336.87036   2.39241
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Si 162.08944 337.04417   0.36719
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Si 165.23514 174.35718   2.56915
Si 166.33488 173.79053   0.63179
Si 168.48773 174.73013   0.63805
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Si 168.84713 335.24617   0.18474
Si 169.97894 334.50442   2.18464
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Si 170.97803 331.44103   0.27025
Si 165.32135 327.79939   2.34856
Si 167.55208 328.72843   2.36304
Si 168.73249 328.06759   0.36325
Si 170.85055 329.10426   0.33784
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Si 170.94806 350.08415   0.39466
Si 165.43842 346.75525   2.55001
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Si 168.65387 346.96586   0.54352
Si 170.87325 347.82983   0.46561
Si 165.23842 363.03275   2.35484
Si 166.32005 362.38372   0.42597
Si 168.58272 363.22963   0.22769
Si 169.78541 362.56445   2.20536
Si 166.49643 360.00709   0.35684
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Si 167.59555 359.30250   2.24850
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Si 164.99260 544.32564   2.07623
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Si  12.61661   9.89707   2.24312
Si  15.93211  10.19053   0.33542
Si  10.44309   6.55952   2.24152
Si  12.66408   7.53950   2.24220
Si  13.79023   6.83153   0.31879
Si  15.94472   7.85301   0.31566
Si  10.32290  23.11573   2.24389
Si  11.44400  22.39963   0.32055
Si  13.68721  23.33778   0.32055
Si  14.80831  22.62167   2.24389
Si  11.49753  20.04136   0.31989
Si  14.85073  20.26627   2.24306
Si  12.61661  19.31942   2.24312
Si  16.00119  19.58265   0.33017
Si  10.44309  15.98187   2.24152
Si  12.66408  16.96185   2.24220
Si  13.79023  16.25388   0.31879
Si  15.93790  17.25571   0.41515
Si  10.32290  32.53808   2.24389
Si  11.44400  31.82198   0.32055
Si  13.68721  32.76013   0.32055
Si  14.80831  32.04402   2.24389
Si  11.49753  29.46371   0.31989
Si  14.85073  29.68862   2.24306
Si  12.61661  28.74177   2.24312
Si  16.03743  28.95459   0.31566
Si  10.44309  25.40422   2.24152
Si  12.66408  26.38420   2.24220
Si  13.79023  25.67623   0.31879
Si  15.89802  26.61651   0.31685
Si  10.32290  41.96043   2.24389
Si  11.44400  41.24433   0.32055
Si  13.68721  42.18248   0.32055
Si  14.80831  41.46637   2.24389
Si  11.49753  38.88606   0.31989
Si  14.85073  39.11097   2.24306
Si  12.61661  38.16412   2.24312
Si  15.89277  38.29115   0.29736
Si  10.44309  34.82657   2.24152
Si  12.66408  35.80655   2.24220
Si  13.79023  35.09858   0.31879
Si  15.94570  35.94586   0.34772
Si  10.32290  51.38278   2.24389
Si  11.44400  50.66668   0.32055
Si  13.68721  51.60483   0.32055
Si  14.80831  50.88872   2.24389
Si  11.49753  48.30841   0.31989
Si  14.85073  48.53332   2.24306
Si  12.61661  47.58647   2.24312
Si  15.92352  47.76905   0.37429
Si  10.44309  44.24892   2.24152
Si  12.66408  45.22890   2.24220
Si  13.79023  44.52093   0.31879
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Si  10.32290  60.80513   2.24389
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Si  13.68721  61.02718   0.32055
Si  14.80831  60.31107   2.24389
Si  11.49753  57.73076   0.31989
Si  14.85073  57.95567   2.24306
Si  12.61661  57.00882   2.24312
Si  15.99590  57.24388   0.38305
Si  10.44309  53.67127   2.24152
Si  12.66408  54.65125   2.24220
Si  13.79023  53.94328   0.31879
Si  15.96297  54.86699   0.38003
Si  10.32290  70.22748   2.24389
Si  11.44400  69.51138   0.32055
Si  13.68721  70.44953   0.32055
Si  14.80831  69.73342   2.24389
Si  11.49753  67.15311   0.31989
Si  14.85073  67.37802   2.24306
Si  12.61661  66.43117   2.24312
Si  15.89220  66.56345   0.23115
Si  10.44309  63.09362   2.24152
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Si  13.79023  63.36563   0.31879
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Si  10.32290  79.64983   2.24389
Si  11.44400  78.93373   0.32055
Si  13.68721  79.87188   0.32055
Si  14.80831  79.15577   2.24389
Si  11.49753  76.57546   0.31989
Si  14.85073  76.80037   2.24306
Si  12.61661  75.85352   2.24312
Si  16.02610  76.00748   0.22689
Si  10.44309  72.51597   2.24152
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Si  13.79023  72.78798   0.31879
Si  16.00045  73.64086   0.25834
Si  10.32290  89.07218   2.24389
Si  11.44400  88.35608   0.32055
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Si  11.49753  85.99781   0.31989
Si  14.85073  86.22272   2.24306
Si  12.61661  85.27587   2.24312
Si  15.96572  85.48432   0.40431
Si  10.44309  81.93832   2.24152
Si  12.66408  82.91830   2.24220
Si  13.79023  82.21033   0.31879
Si  15.98746  83.11592   0.42968
Si  10.32290  98.49453   2.24389
Si  11.44400  97.77843   0.32055
Si  13.68721  98.71658   0.32055
Si  14.80831  98.00047   2.24389
Si  11.49753  95.42016   0.31989
Si  14.85073  95.64507   2.24306
Si  12.61661  94.69822   2.24312
Si  15.98922  94.89939   0.31086
Si  10.44309  91.36067   2.24152
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Si  10.32290 107.91688   2.24389
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Si  11.49753 114.26486   0.31989
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Si  15.92198 113.66104   0.33372
Si  10.44309 110.20537   2.24152
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Si  10.32290 126.76158   2.24389
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Si  14.80831 126.26752   2.24389
Si  11.49753 123.68721   0.31989
Si  14.85073 123.91212   2.24306
Si  12.61661 122.96527   2.24312
Si  15.99447 123.16775   0.28082
Si  10.44309 119.62772   2.24152
Si  12.66408 120.60770   2.24220
Si  13.79023 119.89973   0.31879
Si  16.01778 120.84820   0.41231
Si  10.32290 136.18393   2.24389
Si  11.44400 135.46783   0.32055
Si  13.68721 136.40598   0.32055
Si  14.80831 135.68987   2.24389
Si  11.49753 133.10956   0.31989
Si  14.85073 133.33447   2.24306
Si  12.61661 132.38762   2.24312
Si  15.97175 132.59568   0.33930
Si  10.44309 129.05007   2.24152
Si  12.66408 130.03005   2.24220
Si  13.79023 129.32208   0.31879
Si  15.93848 130.30384   0.26242
Si  10.32290 145.60628   2.24389
Si  11.44400 144.89018   0.32055
Si  13.68721 145.82833   0.32055
Si  14.80831 145.11222   2.24389
Si  11.49753 142.53191   0.31989
Si  14.85073 142.75682   2.24306
Si  12.61661 141.80997   2.24312
Si  15.88593 141.92747   0.25275
Si  10.44309 138.47242   2.24152
Si  12.66408 139.45240   2.24220
Si  13.79023 138.74443   0.31879
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Si  10.32290 155.02863   2.24389
Si  11.44400 154.31253   0.32055
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Si  14.80831 154.53457   2.24389
Si  11.49753 151.95426   0.31989
Si  14.85073 152.17917   2.24306
Si  12.61661 151.23232   2.24312
Si  15.97350 151.48010   0.24076
Si  10.44309 147.89477   2.24152
Si  12.66408 148.87475   2.24220
Si  13.79023 148.16678   0.31879
Si  15.94086 149.08242   0.27917
Si  10.32290 164.45098   2.24389
Si  11.44400 163.73488   0.32055
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Si  10.44309 157.31712   2.24152
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Si  14.80831 173.37927   2.24389
Si  11.49753 170.79896   0.31989
Si  14.85073 171.02387   2.24306
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Si  15.98010 170.29513   0.34263
Si  10.44309 166.73947   2.24152
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Si  13.79023 167.01148   0.31879
Si  15.92921 167.94513   0.24661
Si  10.32290 183.29568   2.24389
Si  11.44400 182.57958   0.32055
Si  13.68721 183.51773   0.32055
Si  14.80831 182.80162   2.24389
Si  11.49753 180.22131   0.31989
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Si  15.95015 179.73909   0.24914
Si  10.44309 176.16182   2.24152
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Si  10.32290 202.14038   2.24389
Si  11.44400 201.42428   0.32055
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Si  11.49753 199.06601   0.31989
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Si  12.61661 198.34407   2.24312
Si  16.01377 198.55048   0.32239
Si  10.44309 195.00652   2.24152
Si  12.66408 195.98650   2.24220
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Si  15.96025 196.15240   0.47174
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Si  53.02035  97.40732   2.35001
Si  56.29056  97.45599   0.29750
Si  50.81198  94.03150   2.32203
Si  52.94982  94.95204   2.37203
Si  54.06788  94.27584   0.47147
Si  56.33844  95.10810   0.31193
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Si  55.16731 286.95996   2.46836
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Si  56.28097 286.33005   0.58643
Si  50.98292 282.68604   2.41521
Si  53.09068 283.73797   2.46830
Si  54.12510 283.10336   0.47805
Si  56.22928 283.93125   0.44918
Si  50.66793 299.15030   2.45266
Si  51.82814 298.46181   0.55760
Si  53.98272 299.40090   0.36031
Si  55.12044 298.76655   2.35002
Si  51.78588 296.05178   0.68446
Si  55.16421 296.34074   2.45458
Si  52.94363 295.48206   2.62360
Si  56.15108 295.67045   0.46814
Si  50.90311 292.18010   2.40798
Si  52.98473 293.15036   2.48821
Si  54.11303 292.48917   0.55416
Si  56.24285 293.39716   0.38585
Si  50.70926 308.57051   2.36710
Si  51.93947 307.88375   0.45998
Si  54.14708 308.75047   0.53451
Si  55.26760 308.12230   2.40755
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Si  53.08694 304.74683   2.38049
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Si  54.04440 301.66828   0.45813
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Si  52.91467 314.16407   2.41161
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Si  55.07224 324.54056   2.48703
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Si  50.74510 329.74548   2.43714
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Si  53.03999 370.83138   2.10527
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Si  52.74271 417.92381   2.02926
Si  56.17072 418.00323   0.30496
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Si  50.94640 442.71047   2.10350
Si  53.10107 443.63726   2.20814
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Si  53.99162 459.44201   0.38186
Si  55.11463 458.74543   2.34787
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Si  56.31150 455.74752   0.36908
Si  50.83774 452.30557   2.18270
Si  53.08594 453.17908   2.21046
Si  54.22074 452.45352   0.33400
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Si  52.93187 474.36062   2.18390
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Si  54.20130 471.25147   0.30800
Si  56.42587 472.22058   0.27556
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Si  51.78488 486.68983   0.24670
Si  53.97842 487.62990   0.36373
Si  55.17248 486.87351   2.33345
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Si  55.24082 484.51484   2.30390
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Si  50.90191 480.42893   2.20664
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Si  57.49383 103.95196   2.15203
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Si  63.13086 105.11252   0.31707
Si  57.37962 120.57938   2.36507
Si  58.47152 119.77471   0.40517
Si  60.65438 120.75130   0.39435
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Si  68.85412 127.39389   2.33648
Si  66.63343 126.52535   2.43846
Si  69.99288 126.63656   0.43567
Si  64.37396 123.38265   2.54065
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Si  67.75211 123.44927   0.45023
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Si  65.11618 315.98629   0.57539
Si  68.45542 316.21770   2.38206
Si  66.28040 315.37814   2.48397
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Si  64.14791 311.93780   2.34973
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Si  69.56674 313.18252   0.40908
Si  64.18956 328.32227   2.48213
Si  65.28065 327.51731   0.52029
Si  67.40289 328.67801   0.50975
Si  68.56753 327.89423   2.45898
Si  65.30523 325.17150   0.52754
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Si  64.27490 321.16310   2.45856
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Si  64.24098 481.46559   2.05416
Si  66.51171 482.31653   2.18191
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Si  67.38730 500.30562   0.50791
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Si  68.64390 513.77116   2.02665
Si  66.42973 512.89792   2.16435
Si  69.86658 513.20171   0.07458
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Si  71.03681 133.05453   2.19003
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Si 109.94169 185.86555   0.53759
Si 104.50937 182.46436   2.45154
Si 106.66918 183.29669   2.34001
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Si 107.68525 208.28122   0.36307
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Si 104.45948 201.01190   2.27481
Si 106.72671 201.81783   2.32559
Si 107.89300 201.14607   0.43337
Si 110.04162 202.07431   0.53414
Si 104.30324 217.34196   2.37410
Si 105.53207 216.64680   0.45976
Si 107.71488 217.50095   0.37335
Si 108.86672 216.84170   2.32086
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Si 108.89678 214.41984   2.18653
Si 106.65627 213.66351   2.30098
Si 110.06081 213.75430   0.31033
Si 104.49898 210.34528   2.37366
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Si 110.18596 374.71988   0.29468
Si 104.63260 371.13809   2.23940
Si 106.80699 372.08445   2.26833
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Si 107.74016 387.74081   0.39405
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Si 104.48996 389.90551   2.45009
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Si 104.25354 406.22133   2.31589
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Si 108.76908 405.75015   2.15096
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Si 108.81938 403.48658   2.13381
Si 106.65924 402.61274   2.36429
Si 109.92522 402.88948   0.20617
Si 104.59950 399.21488   2.52081
Si 106.76945 400.25904   2.41195
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Si 110.20948 400.44189   0.33653
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Si 112.90062   4.11817   2.37291
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Si 114.90819  30.06116   0.41154
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Si 116.20296  26.90014   2.30749
Si 114.07156  26.14476   2.19364
Si 117.40324  26.32830   0.43899
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Si 114.10036  23.82366   2.34305
Si 115.21597  23.13484   0.50272
Si 117.46991  24.01512   0.55468
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Si 114.63860  39.39556   0.51621
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Si 115.82822  36.35207   2.22622
Si 113.63527  35.47741   2.41555
Si 116.97832  35.60471   0.27132
Si 111.52078  32.21267   2.11451
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Si 111.32010 191.98005   2.33033
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Si 114.40409 208.63452   0.47144
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Si 111.23922 219.96813   2.46016
Si 113.42480 220.89657   2.47071
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Si 114.63483 381.14225   0.44379
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Si 114.58716 397.55408   0.18547
Si 115.71002 396.89702   2.17347
Si 112.18119 394.29388   0.38152
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Si 113.41353 393.68929   2.33169
Si 116.83039 393.87344   0.35025
Si 111.28543 390.24786   2.50406
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Si 114.64157 390.58810   0.49955
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Si 114.46518 416.30197   3.79937
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Si 115.66455 413.12119   1.98550
Si 113.49493 412.29509   1.97773
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Si 114.70169 409.21164   0.13972
Si 116.82048 410.11422   0.08009
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Si 115.76102 422.53058   2.05904
Si 113.52281 421.65021   2.19367
Si 116.86615 421.80727   0.09261
Si 111.34502 418.32809   2.10449
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Si 120.03824  17.85549   0.69077
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Si 118.93844  13.95633   2.53818
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Si 121.56911  30.60831   0.48441
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Si 129.58133 294.77186   2.50328
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Si 139.34276 122.80855   0.34997
Si 142.79613 123.11119   2.06093
Si 140.64035 122.19945   2.22820
Si 143.99553 122.39977   0.13986
Si 138.31356 118.85231   2.17130
Si 140.53179 119.77511   2.03168
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Si 143.96984 120.06748   0.10891
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Si 142.63414 134.80940   2.25673
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Si 143.90414 131.68868   0.17632
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Si 144.12018 320.09132   0.11851
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Si 142.79017 330.18290   2.29497
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Si 140.60824 336.36012   2.34580
Si 141.80970 335.74031   0.47154
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Si 148.35875 166.52808   0.52348
Si 150.68865 167.28988   0.50041
Si 144.95125 182.60701   2.53369
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Si 148.35123 182.76700   0.53645
Si 149.51941 182.06916   2.52598
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Si 145.17719 345.45209   2.46983
Si 147.25978 346.41593   2.45863
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Si 147.20874 367.61009   2.25479
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Si 147.33135 365.19761   2.43497
Si 148.41720 364.56071   0.45723
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Si 148.24797 380.83928   0.34337
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Si 152.63987  13.78282   1.98366
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Si 156.05430 201.10606   2.20903
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Si 156.18204 198.75732   2.25455
Si 154.07285 197.87540   2.28389
Si 157.33800 198.08334   0.37436
Si 152.04088 194.60064   2.51390
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Si 157.23272 358.71211   0.30902
Si 151.72392 355.45165   2.23328
Si 153.95727 356.17232   2.11332
Si 155.08233 355.48403   0.13105
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Si 151.65260 371.76318   2.52887
Si 152.79646 370.94180   0.62333
Si 155.02885 371.89994   0.46814
Si 156.16794 371.18768   2.38994
Si 152.72472 368.61174   0.55259
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Si 153.92129 367.88466   2.48430
Si 157.26651 368.13864   0.39833
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Si 157.28352 377.52175   0.38620
Si 151.73692 374.07306   2.40387
Si 153.87876 374.99155   2.29679
Si 155.15901 374.32154   0.39725
Si 157.36205 375.21901   0.50076
Si 151.66091 390.37839   2.38340
Si 152.72682 389.55775   0.47845
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Si 152.80231 387.16768   0.39757
Si 156.04105 387.51661   2.40559
Si 153.95849 386.57885   2.35228
Si 157.19565 386.83269   0.49113
Si 151.88056 383.26700   2.31730
Si 154.02485 384.22257   2.29377
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Si 157.26812 384.46584   0.40590
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Si 152.62957 399.00484   0.47781
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Si 158.55401 374.52567   2.47435
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Si 160.43125 406.01087   2.25472
Si 163.57490 406.12536   0.27293
Si 158.22375 402.66306   2.36381
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Si 171.57784  20.52758   0.31061
Si 166.02033  17.09190   2.12929
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Si 166.11562 397.61635   0.39344
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Si  16.02845  63.72328   0.25122
Si  10.32290  79.02852   2.24389
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Si  12.66408  72.88635   2.24220
Si  13.79023  72.18401   0.31879
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Si  11.49753  85.38237   0.31989
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Si  12.61661 197.73423   2.24312
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Si  13.79023 194.67456   0.31879
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Si  13.79023 222.94161   0.31879
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Si  10.44309 232.07521   2.24152
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Si  10.44309 250.91991   2.24152
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Si  13.79023 251.20866   0.31879
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Si  10.44309 382.83281   2.24152
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Si  48.38929 530.93792   2.30929
Si  46.21428 530.09603   2.39108
Si  49.64237 530.27206   0.41547
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Si  54.31348 150.40241   0.41484
Si  56.42237 151.38245   0.28324
Si  50.59389 166.68136   2.19638
Si  51.80235 166.01930   0.26351
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Si  54.20739 159.82221   3.73256
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Si  52.87283 323.23557   2.36853
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Si  50.61713 345.89633   2.60936
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Si  55.21475 345.24701   2.33738
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Si  55.20441 342.91463   2.40872
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Si  50.77597 338.70198   2.38071
Si  52.98009 339.61964   2.24253
Si  54.11225 338.86938   0.33974
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Si  50.83908 355.24045   2.11380
Si  52.04397 354.49934   0.22690
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Si  51.91711 352.11823   0.41594
Si  55.38496 352.28981   2.25447
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Si  61.99682 173.85995   2.27541
Si  59.82832 173.08970   2.40298
Si  63.19711 173.21399   0.32681
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Si  58.64061 361.91922   0.50095
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Si  61.07170 358.18380   0.40722
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Si  69.78568 180.72208   0.38966
Si  64.03445 195.94409   2.18793
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Si  64.48080 367.81995   1.96029
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Si 109.02057  82.88212   2.25904
Si 106.82961  81.96106   2.23987
Si 110.16619  82.18501   0.33283
Si 104.85281  78.49762   2.24627
Si 106.97099  79.53945   2.34594
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Si 104.49318  88.07022   2.15436
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Si 103.77347 270.57539   0.20490
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Si 108.15170 270.08705   0.28577
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Si 105.62035 469.06832   3.82523
Si 108.95343 469.43451   2.00321
Si 106.83327 468.41881   1.94246
Si 110.15652 468.80105   0.07253
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Si 104.40060 481.58112   1.97046
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Si 104.50843 474.51744   1.92653
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Si 111.93314  22.69751   2.45090
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Si 111.68500  31.98505   2.26987
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Si 114.76453  88.86375   0.21728
Si 116.90654  89.71384   0.14697
Si 111.38380 105.05936   2.10421
Si 112.60605 104.35587   0.17158
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Si 113.69608 101.44926   2.19011
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Si 111.50227  97.89337   2.29637
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Si 116.81884 476.22798   3.61940
Si 111.32808 491.57302   1.97242
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Si 122.61132 112.14721   2.42082
Si 120.44604 111.09954   2.36162
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Si 128.32652 118.06944   0.26660
Si 130.51542 119.05302   0.27576
Si 124.81818 134.38643   2.19788
Si 125.93451 133.76220   0.25904
Si 128.17213 134.61214   0.40719
Si 129.39910 133.98375   2.38383
Si 126.01147 131.41157   0.37033
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Si 127.17980 130.72554   2.26150
Si 130.44391 130.92522   0.44471
Si 124.99515 127.26344   2.22359
Si 127.13612 128.20458   2.14496
Si 128.39408 127.67091   0.25926
Si 130.51556 128.56385   0.35468
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Si 122.53518 286.71115   2.40877
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Si 124.60857 305.95418   2.42245
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Si 128.12080 306.27073   0.45883
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Si 124.78984 322.54640   2.32835
Si 125.96847 321.76483   0.38674
Si 128.15065 322.75907   0.34784
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Si 125.89322 319.40538   0.47477
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Si 132.68367 141.23482   0.41582
Si 135.98589 141.39402   2.27354
Si 133.79669 140.63969   2.36742
Si 137.14526 140.77954   0.33283
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Si 138.27314 175.18920   2.28577
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Si 141.46826 175.32101   0.45408
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Si 141.59300 373.50975   0.29493
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Si 142.71013 386.87985   2.26745
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Si 138.29462 382.61596   2.15432
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Si 138.33531 401.13156   2.13355
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Si 143.73230 402.54668   0.36360
Si 138.14834 417.71519   2.13096
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Si 151.98514   7.64504   3.81632
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Si 149.60986  38.80595   2.11629
Si 147.46628  37.91958   2.07895
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Si 145.44682  34.58780   2.30100
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Si 148.77630  34.79181   0.20604
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Si 149.39263 238.62529   2.18990
Si 145.87447 236.07625   0.22045
Si 149.27251 236.26918   2.16629
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Si 144.71942 418.29936   2.22921
Si 145.97084 417.57990   0.36655
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Si 150.38363 433.68725   0.13137
Si 144.85800 430.09560   2.08958
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Si 150.34685 431.39464   0.22578
Si 144.78564 446.56736   2.32864
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Si 152.73886  67.19219   3.82729
Si 156.12970  67.44235   2.00349
Si 153.86772  66.57549   1.96809
Si 157.21305  66.74076   0.12339
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Si 156.67735 258.13614   1.76368
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Si 151.77843 251.47056   1.89894
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Si 155.15831 251.72007   3.81832
Si 157.42356 252.65484   0.02766
Si 153.22045 268.19228   1.79509
Si 154.24332 267.39311   3.70117
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Si 156.02496 453.80033   2.14687
Si 153.76293 452.80555   2.10611
Si 157.24676 453.13002   0.22917
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Si 152.64465 462.80145   0.14874
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Si 164.16427  74.33350   0.22508
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Si 168.40938 285.05945   3.74994
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Si 169.43218 284.28056   1.85767
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Si 177.50224 103.46603   0.10735
Si 171.92566 118.72913   2.29957
Si 173.16180 118.10918   0.33316
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Si 183.16996 125.87547   2.09648
Si 181.01261 124.93392   1.99583
Si 184.37807 125.10799   0.14895
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Si  11.49753 131.87869   0.31989
Si  14.85073 132.13713   2.24306
Si  12.61661 131.16794   2.24312
Si  16.03550 131.33544   0.31560
Si  10.44309 127.80865   2.24152
Si  12.66408 128.81085   2.24220
Si  13.79023 128.11413   0.31879
Si  16.06085 128.99171   0.28056
Si  10.32290 144.36367   2.24389
Si  11.44400 143.65877   0.32055
Si  13.68721 144.61935   0.32055
Si  14.80831 143.91446   2.24389
Si  11.49753 141.30104   0.31989
Si  14.85073 141.55948   2.24306
Si  12.61661 140.59029   2.24312
Si  16.01005 140.76205   0.34639
Si  10.44309 137.23100   2.24152
Si  12.66408 138.23320   2.24220
Si  13.79023 137.53648   0.31879
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Si  10.32290 153.78602   2.24389
Si  11.44400 153.08112   0.32055
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Si  13.79023 146.95883   0.31879
Si  16.02838 147.94334   0.29364
Si  10.32290 163.20837   2.24389
Si  11.44400 162.50347   0.32055
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Si  11.49753 160.14574   0.31989
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Si  10.44309 174.92040   2.24152
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Si  10.44309 203.18745   2.24152
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Si  13.79023 203.49293   0.31879
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Si  10.44309 250.29920   2.24152
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Si  13.79023 250.60468   0.31879
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Si  14.80831 266.40501   2.24389
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Si  14.85073 264.05003   2.24306
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Si  14.80831 294.67206   2.24389
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Si  14.85073 292.31708   2.24306
Si  12.61661 291.34789   2.24312
Si  16.00072 291.61554   0.33507
Si  10.44309 287.98860   2.24152
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Si  13.79023 288.29408   0.31879
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Si  10.32290 304.54362   2.24389
Si  11.44400 303.83872   0.32055
Si  13.68721 304.79930   0.32055
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Si  15.96723 301.06830   0.30664
Si  10.44309 297.41095   2.24152
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Si  13.79023 297.71643   0.31879
Si  16.00387 298.68007   0.26712
Si  10.32290 313.96597   2.24389
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Si  13.79023 307.13878   0.31879
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Si  14.80831 322.93911   2.24389
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Si  12.61661 319.61494   2.24312
Si  16.10499 319.79819   0.37367
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Si  12.66408 317.25785   2.24220
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Si  15.99985 527.20960   0.31180
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Si  54.57900  17.89432   0.54291
Si  56.67640  18.86513   0.68628
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Si  52.86973 190.72001   2.39201
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Si  51.78128 219.75325   0.36760
Si  55.11827 219.95927   2.16857
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Si  52.73945 405.23251   2.25959
Si  53.97888 404.56841   0.38851
Si  56.14897 405.55632   0.34813
Si  50.67055 420.82265   1.95508
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Si  62.66848 226.66381   0.30641
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Si  57.36996 395.38046   2.23922
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Si  64.74213  18.84261   2.19350
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Si 107.99989 135.25558   0.46154
Si 110.10912 136.24402   0.39697
Si 104.56695 151.47967   2.41562
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Si 106.51162 307.95314   2.39074
Si 109.96292 308.14319   0.44965
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Si 105.78110 327.68361   0.26468
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Si 104.67947 323.67999   2.52340
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Si 108.05678 323.77880   0.50218
Si 110.29141 324.64249   0.28415
Si 104.70975 340.32785   2.11052
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Si 107.91649 521.69115   0.18449
Si 110.16365 522.70023   0.11381
Si 104.32555 537.96121   2.11321
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Si 111.39398 144.86047   2.30597
Si 113.52604 145.85530   2.19468
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Si 116.87342 146.20378   0.41267
Si 111.21520 161.34064   2.34229
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Si 115.81629 160.99712   2.37159
Si 112.23753 158.37813   0.53012
Si 115.70740 158.59604   2.47481
Si 113.53425 157.67866   2.52561
Si 116.98329 157.85365   0.52015
Si 111.35638 154.45214   2.41976
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Si 115.70219 170.24814   2.26459
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Si 116.80675 318.03115   0.18101
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Si 114.50331 314.68628   0.25839
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Si 111.60291 331.10974   2.30865
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Si 113.65332 336.88353   1.95807
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Si 114.87008 333.75686   0.13514
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Si 115.76605 349.68779   2.14160
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Si 115.66095 347.33029   2.17435
Si 113.46317 346.43963   2.19419
Si 116.80970 346.55847   0.25615
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Si 113.42956 344.05485   2.19956
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Si 113.58522 515.80819   1.95727
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Si 115.16771 547.22736   2.24237
Si 111.94043 544.73235   0.25251
Si 115.34721 544.93710   2.16502
Si 113.13907 544.08426   2.16527
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Si 121.27057 164.40837   0.38898
Si 123.46261 165.25220   0.39933
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Si 118.15413 352.99346   2.32923
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Si 124.67113 190.30586   2.56518
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Si 129.22514 187.54066   2.48039
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Si 129.11933 367.12629   2.45236
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Si 127.02025 375.69064   2.27580
Si 130.24066 375.78117   0.30727
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Si 134.27688   9.54994   0.24648
Si 137.60334   9.83141   2.32502
Si 135.42397   8.74815   2.19637
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Si 131.40419 181.50776   2.44842
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Si 133.64586 196.36737   2.33455
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Si 133.55178 194.01818   2.34068
Si 134.80585 193.34533   0.41714
Si 137.05031 194.39980   0.39165
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Si 133.92366 413.51462   2.07174
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Si 134.89184 426.94812   0.20759
Si 135.95287 426.16120   2.10052
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Si 141.42107 248.42362   0.23892
Si 142.64890 247.80987   2.13336
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Si 139.35625 471.35089   3.77081
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Si 143.87089 471.03256   3.56830
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Si 141.61813 467.52676   0.10618
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Si 148.55037 107.66302   0.04394
Si 149.77776 107.00221   2.02966
Si 146.15065 104.38001   0.30556
Si 149.60681 104.69607   2.23945
Si 147.44926 103.70764   2.24262
Si 150.76757 104.01661   0.32195
Si 145.05329 100.57058   1.99497
Si 147.21428 101.31482   2.14850
Si 148.38400 100.72757   0.22854
Si 150.53703 101.62263   0.39413
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Si 146.41689 116.40352   0.19945
Si 148.51007 117.43496   0.04176
Si 149.69299 116.57932   1.95052
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Si 150.66029 113.45505   0.11803
Si 145.14264 109.88089   1.94305
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Si 145.10534 126.46381   2.19194
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Si 146.09047 151.55052   0.49039
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Si 151.13340 290.05954   3.73603
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Si 147.27474 305.26038   0.36470
Si 149.57869 306.11556   0.25429
Si 150.91695 305.51096   2.10877
Si 147.77387 302.92234   0.27378
Si 151.18969 303.22500   2.05727
Si 148.99922 302.31544   2.24549
Si 152.32229 302.51743   0.16374
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Si 149.62691 299.99665   2.37301
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Si 149.44977 502.74671   1.80463
Si 146.00984 500.21529   3.82570
Si 149.41402 500.39650   1.90841
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Si 153.97633 120.94946   2.17095
Si 155.05977 120.21056   0.23266
Si 157.18661 121.16561   0.21821
Si 151.90526 136.36279   2.18712
Si 153.04877 135.66569   0.15387
Si 155.15386 136.63230   0.22681
Si 156.34837 135.89781   2.18062
Si 152.97180 133.33187   0.16312
Si 156.23110 133.58140   2.11227
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Si 157.47793 132.90063   0.18867
Si 151.84547 129.37600   2.26676
Si 154.06082 130.24324   2.15795
Si 155.23895 129.48261   0.20633
Si 157.32684 130.61156   0.18691
Si 151.78210 145.71881   2.15007
Si 152.84749 144.98142   0.18629
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Si 151.87230 138.74234   2.25415
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Si 156.30422 164.00762   2.51013
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Si 151.62931 157.30523   2.34853
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Si 153.96955 170.06170   2.58851
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Si 156.33306 248.88103   1.93481
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Si 156.22007 246.49079   1.89001
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Si 151.61884 241.96619   2.00772
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Si 152.03061 258.85256   1.95884
Si 153.24029 258.16436   0.06821
Si 155.53038 259.03383   0.11198
Si 156.68100 258.31318   2.02009
Si 153.00290 255.89755   3.84271
Si 156.45288 255.89849   2.06517
Si 154.17126 255.05364   1.95003
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Si 151.88935 251.61924   1.99139
Si 154.00161 252.60446   2.06217
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Si 154.33701 267.55136   0.10093
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Si 154.02155 265.14535   3.78930
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Si 153.57764 270.60869   1.84366
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Si 159.55605 281.40854   3.78670
Si 154.10130 297.13440   2.10967
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Si 158.52823 294.20019   1.90157
Si 156.43519 293.28696   2.05274
Si 159.68185 293.59877   0.03080
Si 154.48471 290.04326   1.82502
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Si 159.94241 291.18491   3.80677
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Si 156.99325 312.77666   2.15648
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Si 152.62869 308.63192   2.17770
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Si 156.01025 308.86191   0.37817
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Si 152.18697 324.66380   2.37179
Si 153.43433 324.02414   0.40321
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Si 156.80731 324.38814   2.36857
Si 153.43171 321.75337   0.24311
Si 156.76382 322.07470   2.28214
Si 154.59170 320.96445   2.14048
Si 157.94154 321.39700   0.36634
Si 152.15990 317.80983   2.21768
Si 154.40785 318.69419   2.39023
Si 155.64063 318.02893   0.42330
Si 157.79922 318.98948   0.52131
Si 151.81923 334.02192   2.33047
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Si 155.18622 334.32932   0.23667
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Si 153.78086 507.02420   2.13793
Si 154.94172 506.32480   0.19109
Si 157.16801 507.38012   0.19072
Si 151.75221 522.44434   1.79268
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Si 158.51718 129.83770   2.12521
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Si 167.32896 149.88593   2.40081
Si 168.57277 149.27900   0.47029
Si 170.74895 150.30750   0.51161
Si 165.20686 165.40083   2.57901
Si 166.46280 164.75321   0.66983
Si 168.64242 165.79692   0.66603
Si 169.87201 165.10157   2.57298
Si 166.45389 162.38980   0.50704
Si 169.71781 162.72332   2.49591
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Si 165.21887 158.30990   2.40926
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Si 165.34030 174.63303   2.32619
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Si 165.12639 167.75894   2.59009
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Si 168.48896 287.62381   0.09456
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Si 171.60113 285.42604   2.11446
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Si 167.08051 281.10479   1.92277
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Si 172.39571 282.27110   0.05846
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Si 168.25799 294.79995   0.06840
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Si 167.31652 290.67739   1.87960
Si 169.36067 291.68616   1.80310
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Si 168.26759 312.90572   2.21209
Si 171.70305 313.12731   0.33507
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Si 171.85640 310.67946   0.19599
Si 165.63572 326.11246   2.29440
Si 166.88064 325.53059   0.35324
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Si 166.93930 323.16569   0.30127
Si 170.30419 323.30890   2.27034
Si 168.10628 322.39507   2.21332
Si 171.46474 322.68882   0.38802
Si 165.85116 319.28511   2.23400
Si 168.03350 320.12383   2.27814
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Si 171.49038 320.38029   0.51807
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Si 169.06948 328.73613   0.56962
Si 171.26142 329.65557   0.46356
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Si 169.91977 344.32162   2.13278
Si 166.24671 341.86050   0.42140
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Si 165.20553 337.76413   2.34553
Si 167.33665 338.75852   2.49511
Si 168.51090 338.09137   0.56699
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Si 165.14688 354.17931   2.26863
Si 166.39659 353.50972   0.40548
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Si 169.76179 353.72493   2.36585
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Si 172.94163 172.27141   0.38112
Si 176.34696 172.67349   2.39476
Si 174.13813 171.63503   2.32868
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Si  14.80831   1.98033   2.24389
Si  11.49753 584.69135   0.31989
Si  14.85073 584.96656   2.24306
Si  12.61661 583.98620   2.24312
Si  15.80472 584.45671   0.22101
Si  10.44309 580.61604   2.24152
Si  12.66408 581.62934   2.24220
Si  13.79023 580.93826   0.31879
Si  15.98487 580.94229   3.69627
Si  10.32290  11.82946   2.24389
Si  11.44400  11.13017   0.32055
Si  13.68721  12.10197   0.32055
Si  14.80831  11.40268   2.24389
Si  11.49753   8.77270   0.31989
Si  14.85073   9.04791   2.24306
Si  12.61661   8.06755   2.24312
Si  16.00814   8.46779   0.29844
Si  10.44309   4.69739   2.24152
Si  12.66408   5.71069   2.24220
Si  13.79023   5.01961   0.31879
Si  16.07116   6.08600   0.18667
Si  10.32290  21.25181   2.24389
Si  11.44400  20.55252   0.32055
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Si  11.49753  18.19505   0.31989
Si  14.85073  18.47026   2.24306
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Si  16.07079  17.78671   0.33241
Si  10.44309  14.11974   2.24152
Si  12.66408  15.13304   2.24220
Si  13.79023  14.44196   0.31879
Si  16.04145  15.34640   0.46350
Si  10.32290  30.67416   2.24389
Si  11.44400  29.97487   0.32055
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Si  14.85073  27.89261   2.24306
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Si  15.98182  27.17119   0.35254
Si  10.44309  23.54209   2.24152
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Si  13.79023  23.86431   0.31879
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Si  10.32290  40.09651   2.24389
Si  11.44400  39.39722   0.32055
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Si  11.49753  37.03975   0.31989
Si  14.85073  37.31496   2.24306
Si  12.61661  36.33460   2.24312
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Si  10.44309  32.96444   2.24152
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Si  16.03024  34.25111   0.42229
Si  10.32290  49.51886   2.24389
Si  11.44400  48.81957   0.32055
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Si  14.80831  49.09208   2.24389
Si  11.49753  46.46210   0.31989
Si  14.85073  46.73731   2.24306
Si  12.61661  45.75695   2.24312
Si  16.07489  45.99360   0.28898
Si  10.44309  42.38679   2.24152
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Si  13.79023  42.70901   0.31879
Si  16.00195  43.63134   0.30116
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Si  14.80831  58.51443   2.24389
Si  11.49753  55.88445   0.31989
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Si  13.79023  52.13136   0.31879
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Si  11.49753  65.30680   0.31989
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Si  13.79023  61.55371   0.31879
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Si  14.80831  77.35913   2.24389
Si  11.49753  74.72915   0.31989
Si  14.85073  75.00436   2.24306
Si  12.61661  74.02400   2.24312
Si  15.98189  74.28332   0.39867
Si  10.44309  70.65384   2.24152
Si  12.66408  71.66714   2.24220
Si  13.79023  70.97606   0.31879
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Si  11.44400  86.50897   0.32055
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Si  16.03297 102.58861   0.32161
Si  10.44309  98.92089   2.24152
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Si  13.79023  99.24311   0.31879
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Si  14.80831 115.04853   2.24389
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Si  14.85073 112.69376   2.24306
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Si  16.06608 111.94897   0.30698
Si  10.44309 108.34324   2.24152
Si  12.66408 109.35654   2.24220
Si  13.79023 108.66546   0.31879
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Si  10.32290 124.89766   2.24389
Si  11.44400 124.19837   0.32055
Si  13.68721 125.17017   0.32055
Si  14.80831 124.47088   2.24389
Si  11.49753 121.84090   0.31989
Si  14.85073 122.11611   2.24306
Si  12.61661 121.13575   2.24312
Si  16.01059 121.35868   0.33280
Si  10.44309 117.76559   2.24152
Si  12.66408 118.77889   2.24220
Si  13.79023 118.08781   0.31879
Si  16.04214 119.01831   0.30941
Si  10.32290 134.32001   2.24389
Si  11.44400 133.62072   0.32055
Si  13.68721 134.59252   0.32055
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Si  11.49753 131.26325   0.31989
Si  14.85073 131.53846   2.24306
Si  12.61661 130.55810   2.24312
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Si  10.44309 127.18794   2.24152
Si  12.66408 128.20124   2.24220
Si  13.79023 127.51016   0.31879
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Si  10.32290 143.74236   2.24389
Si  11.44400 143.04307   0.32055
Si  13.68721 144.01487   0.32055
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Si  14.85073 140.96081   2.24306
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Si  10.44309 136.61029   2.24152
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Si  11.44400 161.88777   0.32055
Si  13.68721 162.85957   0.32055
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Si  11.49753 159.53030   0.31989
Si  14.85073 159.80551   2.24306
Si  12.61661 158.82515   2.24312
Si  16.06271 159.19405   0.34559
Si  10.44309 155.45499   2.24152
Si  12.66408 156.46829   2.24220
Si  13.79023 155.77721   0.31879
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Si  10.32290 172.00941   2.24389
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Si  11.49753 168.95265   0.31989
Si  14.85073 169.22786   2.24306
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Si  13.79023 174.62191   0.31879
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Si  10.44309 183.72204   2.24152
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Si  14.80831 388.29668   2.24389
Si  11.49753 385.66670   0.31989
Si  14.85073 385.94191   2.24306
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Si  11.44400 397.44652   0.32055
Si  13.68721 398.41832   0.32055
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Si  11.49753 395.08905   0.31989
Si  14.85073 395.36426   2.24306
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Si  55.32052  89.99628   2.33124
Si  51.90236  87.34412   0.24160
Si  55.14951  87.64759   2.29905
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Si  50.12523 271.97514   2.48158
Si  52.38040 273.05163   2.57387
Si  53.48578 272.32081   0.64731
Si  55.75866 273.25245   0.70935
Si  50.41420 288.58212   2.18469
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Si  50.20435 281.59356   2.39145
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Si  54.06426 477.10333   0.16400
Si  55.16219 476.49066   2.11065
Si  51.73551 473.76121   0.49137
Si  55.15459 474.13142   2.23436
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Si  56.40961 473.54192   0.23514
Si  50.78351 469.61831   2.16609
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Si  60.78147 100.74156   0.52213
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Si  59.10670 282.94622   2.30309
Si  60.19311 282.20849   0.36725
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Si  61.73834 298.22336   2.22336
Si  58.14548 295.61439   0.33837
Si  61.48282 295.83561   2.23560
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Si  68.78289 119.36149   2.20312
Si  65.44774 116.74187   0.29356
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Si  70.57272 311.67592   2.28083
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Si 106.99181 563.00190   1.89411
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Si 119.01116   4.95113   0.32906
Si 112.35723  20.01928   2.17197
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Si 115.72723  20.50069   0.11956
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Si 115.06260  16.50521   2.09761
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Si 116.19425  13.45652   0.29954
Si 118.36931  14.46278   0.17091
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Si 113.27527  26.46868   0.57882
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Si 111.14722 210.48914   2.29117
Si 113.42581 211.43001   2.36494
Si 114.49934 210.65174   0.44625
Si 116.77036 211.46354   0.42783
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Si 114.49883 371.51307   0.32006
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Si 115.73687 387.27921   2.20590
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Si 115.67339 384.96954   2.32535
Si 113.45774 383.95416   2.48674
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Si 116.82241 402.90505   0.21285
Si 111.20626 399.36812   2.31997
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Si 111.07646 415.86040   2.11345
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Si 114.50991 416.09366   0.27292
Si 115.73390 415.38885   2.24908
Si 112.29914 412.81037   0.16742
Si 115.72286 413.05588   2.32323
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Si 121.89207  32.83502   0.56179
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Si 122.18073 236.50263   2.37292
Si 118.92642 233.67670   0.51556
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Si 118.03174 409.40002   2.26513
Si 120.25167 410.21068   2.12059
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Si 121.20973 425.94878   3.78737
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Si 125.05961  42.43625   2.25893
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Si 124.79731  58.89197   2.22539
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Si 127.94218 240.23579   0.40909
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Si 133.72214 479.50751   1.81077
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Si 139.53018 115.83906   0.22934
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Si 138.39675 314.15420   2.42453
Si 139.58168 313.49645   0.49080
Si 141.78712 314.47353   0.44890
Si 143.07806 313.93627   2.40446
Si 139.56612 311.05663   0.43727
Si 143.04894 311.54677   2.25231
Si 140.79968 310.51979   2.31257
Si 144.42353 311.07750   0.38898
Si 138.60305 307.04174   2.33485
Si 140.87322 308.06124   2.42217
Si 142.18964 307.60556   0.50479
Si 144.27736 308.63364   0.34087
Si 138.41920 323.47120   2.25936
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Si 141.73490 323.83723   0.36751
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Si 139.63730 332.45452   0.26349
Si 141.77275 333.39891   0.27553
Si 142.91003 332.70734   2.12881
Si 139.62597 329.96435   0.36151
Si 142.90352 330.24836   2.32372
Si 140.70769 329.22716   2.21850
Si 143.95901 329.45969   0.45071
Si 138.40769 325.85982   2.24045
Si 140.62261 326.82177   2.30021
Si 141.82595 326.21368   0.35775
Si 144.00751 327.11052   0.55003
Si 138.36094 342.40642   2.39717
Si 139.41357 341.73153   0.50087
Si 141.68046 342.78546   0.43152
Si 142.90846 342.08322   2.33818
Si 139.57782 339.39457   0.37616
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Si 140.76844 338.66847   2.28040
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Si 138.52231 335.46000   2.18304
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Si 142.75574 511.84916   1.84845
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Si 142.61501 528.17794   1.96867
Si 140.30003 527.20661   1.92844
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Si 138.11349 524.04931   2.13616
Si 140.30673 524.86194   1.94873
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Si 150.75401 160.39236   0.38486
Si 144.86027 157.00206   2.34072
Si 147.21411 157.80539   2.24694
Si 148.38505 157.14476   0.35692
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Si 150.01326 290.75161   1.84124
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Si 147.56147 298.70162   2.52611
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Si 145.41881 314.85043   2.49533
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Si 145.65598 308.12604   2.21128
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Si 147.37475 329.77596   2.34217
Si 150.83091 330.25737   0.42249
Si 145.19416 326.53526   2.39724
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Si 148.66840 326.84220   0.44962
Si 150.90333 327.84811   0.42379
Si 145.07499 342.98806   2.37027
Si 146.20733 342.34781   0.46462
Si 148.52548 343.29826   0.29903
Si 149.60945 342.65048   2.21959
Si 146.15207 339.98032   0.24547
Si 149.43768 340.21081   2.15901
Si 147.20849 339.16657   2.19929
Si 150.59964 339.55203   0.27819
Si 145.01848 336.06214   2.30612
Si 147.19653 336.85883   2.15964
Si 148.37846 336.18168   0.18122
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Si 144.96030 352.39544   2.34232
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Si 146.19372 349.48237   0.42441
Si 149.45583 349.77529   2.37839
Si 147.26682 348.69976   2.31298
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Si 145.01803 345.34344   2.24132
Si 147.20306 346.30678   2.26279
Si 148.39491 345.72678   0.35130
Si 150.73778 346.66489   0.43365
Si 144.91405 361.95222   2.36699
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Si 148.33170 362.38214   0.43879
Si 149.42932 361.73810   2.41425
Si 146.05008 358.95291   0.43123
Si 149.43743 359.38867   2.32919
Si 147.25853 358.25643   2.31453
Si 150.55727 358.71611   0.41844
Si 144.99660 354.89450   2.36858
Si 147.19535 355.89903   2.29200
Si 148.39463 355.32233   0.36272
Si 150.53586 356.37809   0.43499
Si 144.91077 371.42855   2.21773
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Si 148.34934 371.84784   0.30658
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Si 148.12467 556.94038   1.96541
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Si 144.07522 552.73315   1.94016
Si 146.31438 553.65382   1.94267
Si 147.46100 553.05371   0.10468
Si 149.72541 553.91059   0.12087
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Si 157.28720 179.58768   0.43562
Si 151.84837 176.18261   2.47209
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Si 155.23281 176.31172   0.54717
Si 157.35953 177.21889   0.48364
Si 151.72207 192.36308   2.24283
Si 152.87822 191.79781   0.25413
Si 155.13688 192.70334   0.14492
Si 156.22355 191.97875   2.05636
Si 152.76781 189.37946   0.31154
Si 156.18174 189.70289   2.26037
Si 154.02191 188.79086   2.27878
Si 157.35003 189.05272   0.37311
Si 151.61776 185.37647   2.36622
Si 153.83193 186.44994   2.42051
Si 155.02391 185.72315   0.46494
Si 157.26558 186.61572   0.44965
Si 151.66375 201.87330   2.14474
Si 152.89153 201.24933   0.26569
Si 155.12547 202.24006   0.29458
Si 156.28448 201.42599   2.21686
Si 152.85501 198.91919   0.31341
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Si 153.95433 198.16835   2.21525
Si 157.37830 198.37751   0.26193
Si 151.70087 194.74937   2.33874
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Si 151.56120 213.78157   2.28975
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Si 152.89268 306.46108   1.90372
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Si 157.69781 306.02725   1.91263
Si 154.53903 303.57520   0.06086
Si 157.91350 303.69139   1.87509
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Si 159.14708 303.04917   3.80460
Si 153.91686 299.55056   2.10557
Si 156.05115 300.59762   1.87188
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Si 157.05694 315.25989   2.33777
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Si 156.99993 312.89532   2.18003
Si 154.82658 312.03450   2.22009
Si 158.34188 312.33692   0.28127
Si 152.80061 308.78350   2.22291
Si 155.06454 309.59981   1.97381
Si 156.31919 308.99374   0.08633
Si 158.44685 310.06560   0.23348
Si 152.09601 324.90662   2.29029
Si 153.34293 324.28134   0.33333
Si 155.58817 325.11300   0.34507
Si 156.78630 324.47249   2.28918
Si 153.22681 321.89998   0.55911
Si 156.76315 322.17421   2.39620
Si 154.44722 321.26667   2.45867
Si 157.94149 321.56044   0.50146
Si 152.29217 317.95559   2.45186
Si 154.51737 318.91549   2.32955
Si 155.79427 318.29562   0.38766
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Si 153.07135 331.19185   0.42733
Si 156.49695 331.48423   2.17603
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Si 151.63733 353.31541   2.51404
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Si 152.76155 350.29421   0.34710
Si 155.97918 350.39644   2.37599
Si 153.75825 349.51944   2.25207
Si 157.29664 349.80308   0.39567
Si 151.85062 346.07569   2.38827
Si 153.89011 347.07635   2.32254
Si 155.13124 346.44260   0.42583
Si 157.18314 347.47593   0.50251
Si 151.57854 362.66614   2.29602
Si 152.73634 362.02840   0.44581
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Si 152.77841 359.73222   0.62703
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Si 155.01164 355.89356   0.65563
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Si 156.18090 371.76012   2.23301
Si 152.68924 369.05173   0.28448
Si 156.11453 369.40667   2.21070
Si 153.85061 368.38782   2.21858
Si 157.28711 368.75836   0.33290
Si 151.63000 365.09520   2.21776
Si 153.85755 365.99391   2.26348
Si 155.03351 365.43744   0.36743
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Si 151.74752 381.65121   2.50540
Si 152.85689 380.93928   0.53578
Si 155.06503 381.90717   0.59013
Si 156.22624 381.22782   2.45455
Si 152.65600 378.52248   0.47171
Si 156.10848 378.85607   2.40546
Si 153.86517 377.95694   2.34168
Si 157.25908 378.28894   0.49814
Si 151.71115 374.64959   2.30557
Si 153.92451 375.58331   2.23296
Si 155.03693 374.86378   0.27191
Si 157.23182 375.90097   0.47323
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Si 154.70420 534.72318   3.84563
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Si 152.04140 547.83423   0.06091
Si 155.37227 548.10642   2.23577
Si 153.27916 547.07909   1.94931
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Si 154.58908 544.04854   0.23289
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Si 152.16079 563.60074   1.84722
Si 153.37180 562.93686   3.82709
Si 155.55049 563.81610   0.04947
Si 160.18421  14.61405   2.12595
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Si 160.69683 196.52915   2.31321
Si 162.00554 195.78380   0.34150
Si 164.20169 196.71118   0.31372
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Si 162.84397 370.02060   2.55958
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Si 158.38477 384.61319   2.44649
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Si 158.25529 400.73326   2.19373
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Si 169.44938 221.41449   2.17304
Si 165.90006 218.65182   0.04242
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Si 166.25212 379.68788   0.64247
Si 169.67941 379.98133   2.57330
Si 167.41970 379.05114   2.57215
Si 170.75502 379.23135   0.60018
Si 165.05732 375.69192   2.40393
Si 167.33291 376.73727   2.51713
Si 168.47834 375.91850   0.60707
Si 170.67271 376.84002   0.59588
Si 165.09986 392.12207   2.44939
Si 166.34267 391.45641   0.55703
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Si 169.60640 389.31990   2.30054
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Si 169.47002 400.99251   2.22779
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Si 167.18970 397.70355   2.32263
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Si 165.10017 394.54562   2.19342
Si 167.33015 395.37552   2.27571
Si 168.52802 394.72965   0.40705
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Si 164.99598 410.67475   2.40314
Si 166.16562 410.02203   0.46449
Si 168.39178 411.09631   0.39928
Si 169.52157 410.32405   2.28989
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Si 167.17782 407.04431   2.23448
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Si 165.07023 403.86746   2.29260
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Si  12.66408  52.21284   2.24220
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Si  10.44309 211.36839   2.24152
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Si  13.79023 211.70734   0.31879
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Si  10.32290 227.92220   2.24389
Si  11.44400 227.22852   0.32055
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Si  10.44309 239.63544   2.24152
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Si  13.79023 239.97439   0.31879
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Si  30.44830 279.21556   2.14790
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Si  31.58417 294.79389   0.17224
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Si  31.44971 292.50866   0.25855
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Si  51.71518 145.82946   0.29220
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Si  56.28176 143.11236   0.32443
Si  50.80978 139.39016   2.25880
Si  53.08682 140.39929   2.20840
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Si  56.11013 331.68134   0.54962
Si  50.51836 328.05499   2.43865
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Si  54.01393 526.01700   0.17771
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Si  61.88690 165.59278   2.32987
Si  58.54397 162.99954   0.47750
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Si  64.11622 168.85582   2.25624
Si  66.33621 169.80510   2.44685
Si  67.58085 169.25814   0.55981
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Si  69.78188 361.06471   0.37298
Si  64.21292 357.50903   2.36585
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Si  67.59484 357.70792   0.35244
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Si  68.72556 373.50515   2.23136
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Si  71.12180 367.49250   2.52028
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Si 116.85767  82.43038   0.19322
Si 111.37114  78.94015   2.12909
Si 113.57857  79.90232   2.00847
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Si 116.82605 468.73899   0.03212
Si 111.14717 465.15097   1.93909
Si 113.46108 466.03646   1.92971
Si 114.55075 465.25668   3.82214
Si 116.85742 466.27922   0.03251
Si 111.18265 481.79203   1.99568
Si 112.26042 481.18743   0.07203
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Si 115.71819 481.44403   1.89937
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Si 116.88136 478.23246   3.71837
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Si 116.03112 286.02795   2.29646
Si 118.23186 287.02685   2.32580
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Si 125.04831 108.58300   2.07313
Si 127.29526 109.39531   2.13916
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Si 129.32863 312.39116   2.12878
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Si 125.96273 498.64392   3.69247
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Si 134.85235 134.93170   0.28687
Si 136.05391 134.25241   2.15659
Si 132.63999 131.58275   0.07100
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Si 132.74231 322.25686   0.45811
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Si 136.10856 322.48211   2.35863
Si 132.68249 319.81752   0.40751
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Si 133.85068 319.14768   2.35694
Si 137.36160 319.36205   0.48080
Si 131.64510 315.79257   2.28003
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Si 134.92124 342.09743   0.27122
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Si 133.82902 338.08042   2.25888
Si 137.25737 338.50870   0.15593
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Si 134.07389 335.81070   2.18745
Si 135.18250 335.02754   0.27591
Si 137.32362 336.04745   0.35578
Si 131.50554 351.27207   2.18056
Si 132.66110 350.64843   0.25839
Si 134.78251 351.56008   0.31726
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Si 136.08360 348.58250   2.21283
Si 133.86842 347.52015   2.29227
Si 137.19331 347.85128   0.25842
Si 131.55263 344.19388   2.32650
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Si 137.17112 508.11205   0.05355
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Si 131.17048 532.88016   1.89963
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Si 143.89166 169.26163   0.52728
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Si 149.71146  23.25485   0.17911
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Si 150.58633 424.61781   0.29765
Si 145.04073 420.83449   2.17895
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Si 148.56662 421.12630   0.24128
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Si 154.94597  61.41172   0.20537
Si 156.08329  60.70778   2.10273
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Si 154.71875 447.67568   0.25913
Si 155.83607 446.98714   2.19464
Si 152.35805 444.39271   0.18330
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Si 158.34473  71.15008   2.12519
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Si 164.22979 268.55411   1.79235
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Si 158.25748 450.43677   2.12151
Si 160.49635 451.45234   2.08293
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Si 166.36422  89.81742   0.23060
Si 168.57779  90.74498   0.09981
Si 169.67981  90.05931   2.04296
Si 166.40955  87.54975   0.16917
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Si 169.80204 250.07636   1.93935
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Si 165.32393 243.47957   1.95390
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Si 165.19990 460.48037   2.09243
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Si 168.54308 477.19292   0.00418
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